用于制作FBG光纤光栅的全息相位掩模板
相位掩模板(PM:Phase Mask)其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅,可以通过对入射光的位相调制,衰减或消除零级衍射,并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是,用UV光照射相位掩模板,然后利用衍射光束之间的干涉,在掩模板后面形成周期的光强分布,从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 lm'Zy"~:: [attachment=32332] #~?kYCtC) 7z~Ghz Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司,1999年被实力雄厚的StockerYale收购,并得到了更大的发展。其特点包括: a0Oe:]mo\ 一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式,减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 oB c@]T5> 二是基底材料采用熔融石英,损伤阈值比较高(一般情况下都要比照射的激光光强要大。 h.
hjz? 三是长PM可以做的较长,最长可达120mm。 ]Ql 0v"` F [attachment=32333] #y"=Cz=1u7 ^9"KTZc-* Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下: ),@f6]( 工作波长 190 - 800 nm ){Mu~P pm周期 0.4 - 1.2 μm Kf7WcJ4b 模板周期精度 ±0.3 nm (±0.1 nm可选) ]]iO- } 周期测量精度 ± 0.02 nm {^q)^<#JT 基底/窗口尺寸 可根据要求定制,窗口尺寸最长可做到120mm Ar,
9U9 啁啾范围(啁啾) 0.03 nm/cm - 40 nm/cm 5K56!*Y 啁啾精度 0.005nm/cm - 1 nm/cm(随啁啾改变) e`UQz$4! 损伤阈值 优于1 j/cm^2(248nm,50hz脉冲光的光强) p5]_}I`+2 衍射效率 0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % es.CLkuD7Y 0级衍射<=1.0 % ,±1级衍射>=35 %(可选) e (\I_ AR coating 可选 whc[@Tyx 楔形角 < 30 arcsec ?;7b*Z 衬底材料 康宁7980, 熔融透明石英 iL?iz?+.%@ 厚度 3.175 mm ± 0.125 mm *FgJ|y6gk XYbyOM VI
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