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jrwqz	2011-01-10 22:57
纳米级加工在光学加工中有没有能加工到纳米级的？是如何检测的？

leswen	2011-01-11 17:10
国内加工精度要达到这么高，目前还有困难啊~；目前微米级精度比较现实

oldchenj	2011-01-29 21:40
请问你说的纳米级具体是多少个纳米，我做过五十分子一波长的。

jrwqz	2011-02-09 19:53
1nm以下的加工和测量

jrwqz	2011-02-09 19:55
1/50波长的工件直径有多少？ )(pJ~"'L

haha9528	2011-02-15 22:55
目前双光子加工聚合物可以达到纳米级！

chmkbx	2012-01-20 14:38
我们能加工纳米级的，检查是取镜面上的任意三个点，同时放大一千倍，要小于1nm。2楼同仁说的50分之一波长只能代表pv值，确实相当高了，但pv值不能代表纳米级表面。

lcj.214528	2012-03-23 14:44
我们加工的光学模组表面光洁度RMS可以达到10个纳米（0.01UM)以下，面型精度PV或RT可以达到50-100个纳米以下（0.05UM-0.1UM)。至于检测，目前市面上有高精度的光学检测轮廓仪。如泰勒霍普森的PGI系列，松下的UA3P，翟柯（ZYGO)设备都能检测。

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