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2010-11-19 15:53 |
供应用于制作光纤光栅的全息刻蚀的Lasiris相位掩模板
相位掩模板(PM:Phase Mask)其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅,可以通过对入射光的位相调制,衰减或消除零级衍射,并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是,用UV光照射相位掩模板,然后利用衍射光束之间的干涉,在掩模板后面形成周期的光强分布,从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 #oD; ?Mi [attachment=30108] sKwUY{u\M mXOY,g2w Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司,1999年被实力雄厚的StockerYale收购,并得到了更大的发展。其特点包括: !T"jvDYH 一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式,减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 EdTR]}8 二是基底材料采用熔融石英,损伤阈值比较高(一般情况下都要比照射的激光光强要大。 P[%nD cB 三是长PM可以做的较长,最长可达120mm。 1W'0h$5^" [attachment=30109] DS|q(O=7~t _J X>#h Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下: 4q )+nh~s 工作波长 190 - 800 nm s4[PwD pm周期 0.4 - 1.2 μm 8P*d 模板周期精度 ±0.3 nm (±0.1 nm可选) 6FkBb!ASk 周期测量精度 ± 0.02 nm (b8ZADI* 基底/窗口尺寸 可根据要求定制 |"
ag'h 啁啾范围(啁啾) 0.03 nm/cm - 40 nm/cm IAi|4,y_L 啁啾精度 0.005nm/cm - 1 nm/cm(随啁啾改变) BMO &(g 损伤阈值 优于1 j/cm^2(248nm,50hz脉冲光的光强) -oT3`d3 衍射效率 0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % o/hj~;(] 0级衍射<=1.0 % ,±1级衍射>=35 %(可选) 5ENEx AR coating 可选 }u]7 x:lh 楔形角 < 30 arcsec -BC`p 8 衬底材料 康宁7980, 熔融透明石英 `t#9
yN 厚度 3.175 mm ± 0.125 mm rcz9\@M <!q_C5>XJ 北京路科锐威科技有限公司,欢迎来电垂询!我们将竭诚为您服务! ?UV|m 网址:www.tricombj.com @y2cC6+'t 联系人:孙小姐 联系电话:010-58858423-114 im@QJ: Email:maggie.sun@tricombj.com
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