| sungn |
2010-11-19 15:53 |
供应用于制作光纤光栅的全息刻蚀的Lasiris相位掩模板
相位掩模板（PM：Phase Mask）其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅，可以通过对入射光的位相调制，衰减或消除零级衍射，并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是，用UV光照射相位掩模板，然后利用衍射光束之间的干涉，在掩模板后面形成周期的光强分布，从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 p]IF=~b
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Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司，1999年被实力雄厚的StockerYale收购，并得到了更大的发展。其特点包括： Oe*emUX7
一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式，减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 MyAi)Mz~o
二是基底材料采用熔融石英，损伤阈值比较高（一般情况下都要比照射的激光光强要大。
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三是长PM可以做的较长，最长可达120mm。 fY$M**/,
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Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下： A2g +m
工作波长 190 - 800 nm kC0F@'D
pm周期 0.4 - 1.2 μm (w nkdI{
模板周期精度 ±0.3 nm (±0.1 nm可选) '$;S?6$eW
周期测量精度 ± 0.02 nm CR&v z3\Q
基底/窗口尺寸 可根据要求定制 Z6A*9m
啁啾范围(啁啾) 0.03 nm/cm - 40 nm/cm 8"Hy'JA$O
啁啾精度 0.005nm/cm - 1 nm/cm（随啁啾改变） MAQkk%6[g
损伤阈值 优于1 j/cm^2（248nm，50hz脉冲光的光强） 4tof[n3us
衍射效率 0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % >2,x#RQs
0级衍射<=1.0 % ，±1级衍射>=35 %（可选） oaM $<
AR coating 可选 O}"VK
楔形角 < 30 arcsec E9YR *P4$
衬底材料 康宁7980， 熔融透明石英 C /\ )-^
厚度 3.175 mm ± 0.125 mm > @rsh-Z
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