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光学薄膜设计,工艺与设备
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再次请教
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Freeisa
2006-04-11 20:36
再次请教
请问,我们在镀膜过程中,一直用的一个程序,突然镀同一材料的各个膜层都很有规律的缺少膜厚,每一罩活都是。等机器停了或清扫之后,做原程序又回复正常了。而且这种现象出现了几次。请问这又是什么原因?
birdy
2006-04-12 22:14
你用的是什么机器,用的是什么控制?
Freeisa
2006-04-14 22:06
shincron,光量和水晶同时监控
yaocs633
2006-06-11 10:05
Freeisa你好!!
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