| sbisna |
2010-10-20 18:41 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 uz 4mHyS6
^BM /K&7^
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， l @*/1O)v
DuvP3(K
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 y`Pp"!P"O
1TQ $(bI
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 (?\ZN+V )
eq/5$b(
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 !E_uQ?/w]Z
savz>E &
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. ID+'$u &
w=e,gNO
1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） w#mnGD
2.折射率n \ b9,>
3.吸收系数k &up/`8
4.双折射率 R~*Y@_oD
5.能隙（Eg） Ux icqkX
6.表面粗糙度和损伤 l*Y~h3
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） J-PzI FWd
8.薄膜温度特性 ^y6Pkb
P
9.晶元曲率和薄膜耐压性 Ql*/{#$
^R Wt
应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 \>=Y xB q
2K*-uT#$~
uWnS<O
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： G0s:Dum
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 2Bjp{)*
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com , D1[}Lr=K
网址：http://www.emdeccn.com 9_>4~!x`
|
|