| sbisna |
2010-10-20 18:41 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 ]hlYm T
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， m'5rzZP
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 -
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 BH^8!7dkT
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 rI4N3d;C
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2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. PZSi}j/
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1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） 3k5F$wf
2.折射率n
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3.吸收系数k R4[dh.lf
4.双折射率 Nze l^~
5.能隙（Eg） 5'"l0EuD
6.表面粗糙度和损伤 vAo|o *
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） P>;u S
8.薄膜温度特性 y2NVx!?n
9.晶元曲率和薄膜耐压性 KfMaVU=4P
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应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 6;hZHe 'W
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： 1J O@G3,
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 -
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邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com OQa;EBO
网址：http://www.emdeccn.com (X}Q'm$n\h
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