sbisna |
2010-10-20 18:41 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 ;c'jBi5W <%!@cE+y 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, $FAl9 0$UE|yDs> 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 # OJD<=") ?e BN_a,r6 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 / og'W j ci$o~b6V 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 \Wo,^qR L.8-nTg"y 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. 4g6d6~098; lAoH@+dyA+ 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) 2nwP-i 2.折射率n fQv^=DI# 3.吸收系数k -JcfP+{wS 4.双折射率 U*6r".sz 5.能隙(Eg) Ly^r8I 6.表面粗糙度和损伤 LTi0,03l< 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) s Ce{V*ua 8.薄膜温度特性 \}cEHLq 9.晶元曲率和薄膜耐压性 !#>{..}}3
i |C'_gw`n 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 YpAjZQZ, nzU@}/A/ kQYX[e7n 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: :#+VH_%N 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 GU_R6Wt+ 邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com A$
s4Q0Mf 网址:http://www.emdeccn.com oJ5V^.
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