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2010-07-20 10:13 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 )kjQ W&)g FUSe!f 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, >{Ayzz>v rx|
,DI 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 x$jLB&+ICz a=ZVKb 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 lGahwn: =),ZZD#J 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 U^[AW$WzU 38-kl,Vw 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. KJ/Gv#Kj &^&0,g?To 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) MjQ>&fUK 2.折射率n Il\{m?Y 3.吸收系数k Y/UvNb<lK 4.双折射率 8)iI=,T* 5.能隙(Eg) Wx#l}nD 6.表面粗糙度和损伤 >P(.yQ8&kL 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) z+oy#p6+F. 8.薄膜温度特性 vt"bB 9.晶元曲率和薄膜耐压性 %Qj$@.*:
*eXs7 "H 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 Edc3YSg%; 3s]o~I 2x 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: /AX)n:, 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 (5`(H.( 邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com eCJtNPd 网址:http://www.emdeccn.com
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