| sbisna |
2010-07-20 10:13 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 6y~F'/ww
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， A4cOnG,
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 6tndC
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 31@Lr[!
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 s<)lC;# e
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2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. S.)Jp -&K
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1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） 80wzn,o
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2.折射率n ,_fz)@)
3.吸收系数k +)iMJ]>
4.双折射率 :#pdyJQ_
5.能隙（Eg） 3_ ~iq>l
6.表面粗糙度和损伤 lOk8VlH<h
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） =i&,I{3
8.薄膜温度特性 Cq"KKuf
9.晶元曲率和薄膜耐压性 ^w.hI5ua)
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应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 RHg- Cg`
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： %)x9u$4W2
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