| sbisna |
2010-06-21 10:53 |
供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 gBfX}EK7F /;b.-v& 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, TLX^~W[gOm 4g S[D 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 6O%=G3I )ZviS. 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 DwT i_8m; _RgxKp/d 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 8R
BDJ ^CO#QnB @ 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. a{5H33JA AK%=DVkM 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) dzpj9[ 2.折射率n xqU^I5Z 3.吸收系数k ?UU5hek+m 4.双折射率 '/n\Tg+ 5.能隙(Eg) Bfu/9ad 6.表面粗糙度和损伤 T27:"LVw 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) m]E o(P4+ 8.薄膜温度特性 osI- o~#> 9.晶元曲率和薄膜耐压性 wYC9~ms- xAFek;GY? 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 4p*?7g_WVH (}VuiNY< | |