sbisna |
2010-06-21 10:53 |
供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 c5mv4 MC <*3wnpj_ 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, D4c}z#}*0 MP w@O0QS 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 VrQw;-rQ DL2e9 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 bO9F rEz5 kD >|e<}\ 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 s%H5Qa+Uh n)sK#C-VA 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. :uu\q7@' x1|5q/I 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) x*}(l%[ 2.折射率n [77]0V7 3.吸收系数k .^,fw=T|1 4.双折射率 E-E+/.A 5.能隙(Eg) E$F)z 6.表面粗糙度和损伤 .: 87B= 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) 2^[fUzL? 8.薄膜温度特性
29,`2fFr 9.晶元曲率和薄膜耐压性 e&<#8;2X
nUs) 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 ky#<\K1}' !}l)okQH<# 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: VBIPB 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 96}/;e]@ 邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com Nr:%oD_G* 网址:http://www.emdeccn.com
|
|