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sbisna 2010-06-21 10:53

供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品

高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 V.P<>~W  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, m}uOBR+  
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其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 z%YNZ ^d  
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 I9S;t _Z<  
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应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 f+^6.%  
NUFz'MPv  
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. "CT}34l  
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1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) N'v3 |g  
2.折射率n R |c=I }@F  
3.吸收系数k 7AV{ h[J  
4.双折射率 <k:I2LF_  
5.能隙(Eg) Cs6`lX >  
6.表面粗糙度和损伤 xnY?<?J"!  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) '47 b"uV  
8.薄膜温度特性 Z+El(f x  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 :\OSHs<M  
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应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 |Kd#pYt%O  
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: 0^ODJ7  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 7ftn gBv?  
邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com PftK>,+,  
网址:http://www.emdeccn.com
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