| sbisna |
2010-06-21 10:53 |
供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 T74 ."Lo#
7&*d ]#&~j
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， a.B<W9$`
Ahrtl6@AS
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 U'Fc\M5l/l
z[*Y%o8-r
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 Vo(V<2lw}
K?X
6@u|h
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 W2 4n% Ps
X DAwE
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. 8npjQ;%4>
y3!#*NU
1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） [*v- i%U}
2.折射率n nWsR;~pK
3.吸收系数k ah|`),o(k
4.双折射率 t0 +D~F(g
5.能隙（Eg） _T (MMc
6.表面粗糙度和损伤 @W\ H%VR
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） # PZB h
8.薄膜温度特性
Sn-D|Z
9.晶元曲率和薄膜耐压性 axLO: Q,
]R6Z(^XT,E
应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 ky0,#ZOF
Wm>AR? b
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： :IX_}|
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 VDC"tSQ
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com un(fr7NW
网址：http://www.emdeccn.com
|
|