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2010-06-21 10:53 |
供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 G9#3
|B-? KV'3\`v@LY 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, "jq6FT)O q1 BpE8 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 Se\iMs jaVx9FR+ 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 u@+^lRGFh P!)F1U]!
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 /Tw $}8 7s{['t 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. 7C_U:x rJtk4hOF 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) 1gvh6eE
F 2.折射率n RUut7[r 3.吸收系数k |TJu|zv^ 4.双折射率 l Dwq[ I]w 5.能隙(Eg) ,?%o ~ 6.表面粗糙度和损伤 Q&PEO%/D 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) \[8uE,=| 8.薄膜温度特性 ]C|xo.=?] 9.晶元曲率和薄膜耐压性 %RzkP}1>E ;qUd]c9oi 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 Y9%zo~]-W' X)c0y3hk 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: b"w2 2% 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 BHNJH 邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com dWo$5Bls<A 网址:http://www.emdeccn.com
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