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2010-06-21 10:53 |
供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 a4! AvG 9Kyr/6w4-k 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, ]7^YPFc+ 0Q5ua`U 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 @[S\ FjI %-:6#bz 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 _dq.hW7 E$rn^keM 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 _D(F[p| X Jy]d/ 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. .
\fzK c>r0N[ 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) 7Q.?]k& 2.折射率n mOyBSOad4 3.吸收系数k u U>Bun
4.双折射率 ]baO{pJi 5.能隙(Eg) lG;sDR|)( 6.表面粗糙度和损伤 'on, YEp 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) |k> _
jO 8.薄膜温度特性 c X553& 9.晶元曲率和薄膜耐压性 I"9S [3rvRJ. 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 jzu1>*ok :\48=> 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: Vo"\nj 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 \?)<==^ 邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com }}l04kN_ 网址:http://www.emdeccn.com
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