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bluejewls 2010-06-20 17:35

请问如附件所示的非球面柱面镜如何检测?

最近遇一课题,需要用到非球面柱面镜,加工出来了,但麻烦的是,不知如何检测。面型精度要求较高,偏差5微米左右。请问各位大侠有什么好办法? $x<-PN  
[attachment=27462]
328555707 2010-07-02 10:14
用ZYGO机可测试,它有CGH配件,专用于测柱面面形
121331768 2010-07-02 11:42
楼上正解!
binaryoptics 2012-10-05 00:46
需用干涉仪和特别订制的CGH
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