高功率垂直腔面发射激光器VCSEL技术
高功率垂直腔面发射激光器（VCSEL）技术，为光泵浦、工业和医疗等应用提供了可靠的高温工作特性。 ax)j$
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高功率边发射半导体激光器广泛应用于工业、医疗以及国防等多个领域，也是固体激光器泵浦和光纤激光器泵浦的普遍选择。然而众所周知，在高功率密度下，边发射半导体激光器的发射腔面容易产生光学灾变性损坏（COD），这是导致高功率边发射半导体激光器性能下降的一个致命因素。[1]相比之下，垂直腔面发射激光器（VCSEL）中则没有COD，因为其增益区是嵌入到外延结构中的，因此也不会暴露在外界环境中（见图1）。此外，在边发射半导体激光器中，与边发射结相连的光波导的面积相对较小，从而导致其比VCSEL具有更高的功率密度。通常，一个典型的边发射激光器的故障率（FIT率定义为每10亿个器件工作小时中所出现的故障数）为500或更高。[2]相比之下，VCSEL的FIT率为10或更小。[3][4]也就是说，一个使用VCSEL作泵浦源的系统，其使用寿命至少要比用边发射激光器作泵浦源长50倍。 r\-25F<e5
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