求救,诡异的脱膜状况,急....

最近发现镀制完成后的滤光片,经过沸水煮10分钟后,出现脱膜的情形,但并非膜层全部脱除,经由光谱模拟看来应该是只有最外层膜层变薄,请问这种情况各位有没有遇到过,有解决的方法吗???

镀膜温度290度,镀膜材料为TiO2和SiO2,真空值为9.5*10^-4 Pa,所镀层数约40~50层,最外层是SiO2,无离子源助镀.......

恳请赐教~~~

shenbin	2010-03-16 20:10
我们也有这个现象但是我们的温度是380

xiaoli010102	2010-03-19 21:59
我来说下不知道对不对仅供参考在镀制中温度要控制好不应过高是一点看镀制40-50层一般零件是中间厚边缘薄，本来就有内应力而且还要学日本去用沸水煮况且在镀制中越往后虽然真空度高了但膜料由于蒸发角的原因沉积会受到影响所以会变薄建议零件完工后褪下火或者用离子源辅助

shenbin	2010-03-20 18:03
有什么退火的工艺吗

cych1984	2010-03-25 15:16
同意2楼的说法。

ljq2007	2010-05-05 22:12
最外层不要用SiO2,用Al2O3试试。

朱小朱	2012-02-13 13:43
学习了谢谢

dede	2012-02-15 22:57
学习了谢谢

dede	2012-02-15 22:58
5楼： ltHuN;C\ AL2O3防水好点吗？ \5b<!Nl

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