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xiangyi

2010-03-04 11:13

多层介质薄膜膜层间界面粗糙度及光散射(PDF格式论文)

多层介质薄膜膜层间界面粗糙度及光散射

摘要：利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪(Talysurf CCI)分别对基底和采用电子束热蒸发技术沉积的15 层二氧化钛(TiO2)和二氧化硅(SiO2)为膜料的介质高反膜的膜层间的界面粗糙度进行了研究，并对不同工艺下沉积的薄膜界面粗糙度以及不同基底粗糙度上沉积的薄膜的表面粗糙度进行了比较。实验结果表明：TiO2薄膜对基底或下表面粗糙度有较好的平滑作用，随着TiO2和SiO2膜层的交替镀制，膜层间表面粗糙度呈现出低高交替的现象，随着膜层层数的增加，膜层间界面粗糙度低高变化范围减小；采用离子束辅助沉积工艺时，膜层间界面粗糙度低高变化范围较小。总散射损耗的理论计算表明：中心波长处完全非相关模型下的总散射损耗小于完全相关模型下的总散射损耗。实验结果表明：界面粗糙度的相关度约为0.4。

关键词：界面粗糙度；白光干涉轮廓仪；均方根粗糙度；光散射

legendlyy	2010-03-04 12:05
seee!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

macofyou	2010-03-10 10:22
趕快看看多謝了

jimmy58	2010-03-10 16:37
Thank you for sharing

twdrango	2010-03-31 11:37
謝謝樓主好東西哦

lzb0036	2010-04-05 08:31

mxw032	2010-05-26 21:38
谢谢指导~~~

zeephyr	2010-06-09 22:26
看看吧, 谢谢.

dewei5210	2010-06-22 16:16
TFCALC

bandri007	2010-08-03 15:04
夺取在要要求械斗

suninrain	2010-08-03 22:53
谢谢分享

qqucqquc	2010-08-06 08:57
好资料，学习学习

sunjie_optic	2010-11-20 14:21
谢谢共享散射资源

superly	2010-12-02 22:25
初學者,非常需要!! ej\Sc7. Thx.

superly	2010-12-09 15:46
感謝您的分享!!

曾令刚	2010-12-10 15:14
好东西，看看！

yuancy	2011-06-23 20:32
3Q so much

dinglingfeng	2011-06-26 09:22
这个对俺很有用，谢谢

dinglingfeng	2011-06-26 09:23
这个东东很便宜啊，谢了

老婆的老公	2011-07-06 15:22
thanks a million

philowjz	2011-07-08 11:03
实验结果表明：界面粗糙度的相关度约为0.4

pw304518210	2011-07-15 23:44
嗯···不错

12511895	2011-11-13 14:42
看看,好不好

luoxingyou	2011-11-13 17:09
回复是必须得！

xiaxgood	2011-11-14 15:56
用TFCALC设计的么

anomchen	2011-11-18 18:51
趕緊下載來看一看先

骑驴看本1024	2012-01-09 15:13
犹抱琵琶半遮面。。

骑驴看本1024	2012-01-09 15:15
本人是新人，没有光币。

骑驴看本1024	2012-01-09 15:16
正是想要的东西，非常感谢楼主

seasunshine	2012-02-15 09:08
的确得看看

hexin	2012-02-18 11:32
谢谢楼主，这方面的资料太少了

j6dk3fm3294	2012-03-03 15:44
太好了， #9~,d<H 目前正要建立關於多層膜間粗糙度計算

mright829	2012-04-13 10:56
LET ME SEE

qq41894351	2012-07-05 23:40
看看吧

qq41894351	2012-07-07 21:11
趕快看看多謝

haoyanqiuqiu	2012-10-31 20:56
谢谢楼主受教了 %d%?\jVb

sppkenny	2012-11-29 22:08
好期待 O'{kNr{u

hmwujian	2013-03-05 18:02
夺取在要要求械斗

ysc212	2013-03-05 18:25
学习了！谢谢楼主分享！

ff小巫	2013-03-14 14:46
感谢，学习学习！

bairuizheng	2013-04-08 01:05
看看, 谢谢.

herman1234	2013-04-10 23:08
Thank you for sharing

loustrong	2013-04-18 17:46
呵呵，参考学习一下。。

339549428	2013-05-19 09:37
学习了。。谢谢分享

zhubinyz	2013-05-25 19:05
趕快看看多謝了

jokehj	2013-08-15 00:30
趕快看看多謝了

121331768	2013-09-16 10:19
好文章，多谢了。。。

eamery	2014-01-18 00:14
I see see ....

lamlin518	2014-01-22 22:34
很好的东西，谢谢楼主分享了~

mang2004	2014-01-30 19:12
thanks for share

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