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霍尔离子源辅助
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milkyway
2010-02-09 21:22
霍尔离子源辅助
m ne)c[Qn
本人刚刚买了一台新的霍尔离子源,离子轰击玻璃基片10分钟,镀膜后反而不牢,吸潮后膜层即脱落,不轰击反而没有问题。请达人帮我分析一下,那里出了问题,谢谢了
yangyangyang
2014-06-25 17:00
1,腔室洁净度
C7m/<
2,镀膜区域洁净度,温度湿度过高或过低
}E(w@&
3,基材放置太久或受潮
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4,轰击时间太久
!F}GSDDV*
5,离子束流不够
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霍尔离子源辅助
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