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cyqdesign 2010-01-31 22:03

半导体薄膜技术与物理,作者:叶志镇,吕建国,吕斌

《半导体薄膜技术与物理》全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术,第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术,第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论,第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。 `IN!#b+Eo  
《半导体薄膜技术与物理》文字叙述上力求做到深入浅出,内容上深度和宽度相结合,理论和实践相结合,以半导体薄膜技术为重点,结合半导体材料和器件的性能介绍,同时还介绍了半导体薄膜技术与物理领域的新概念、新进展、新成果和新技术。《半导体薄膜技术与物理》具有内容翔实、概念清楚、图文并茂的特点。 z+Xr2B  
《半导体薄膜技术与物理》读者对象广泛,可作为高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材,也可作为从事半导体材料、薄膜材料、光电器件等领域的科研人员、工程技术人员的参考书籍。 B*/!s7c.  
叶志镇,男,1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位;毕业后留校工作,1990~1992年留学美国麻省理工学院(MIT);1994年晋升为教授;1996年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 1988年进入浙江大学材料系,在硅材料国家重点实验室一直从事半导体薄膜教学科研工作,主要研究方向:Zn0薄膜材料制备、物性调控及光电应用;纳米薄层材料高真空CVD技术研发及应用。现兼任国家自然科学基金委信息科学部评审组成员,全国电子材料专委副主任,全国半导体与集成技术、半导体材料和半导体物理专委委员等。 p22AH%  
《半导体薄膜技术与物理》共分十章,以叶志镇教授“半导体薄膜技术物理”讲义为基础编撰而成。第一章叙述了真空技术的基本知识;第二章至第八章是《半导体薄膜技术与物理》的核心内容,结合各种半导体材料,详细介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相沉积和湿化学合成等半导体薄膜技术与物理;第九章介绍了超晶格的相关知识,超晶格、量子阱是现代新型半导体器件的基础和关键;第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术,包括发光二极管、薄膜晶体管和紫外探测器。 Mi]^wCF  
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第1章 真空技术 &mX_\w /%  
1.1 真空的基本概念 Zk`y"[J  
1.1.1 真空的定义 tR51Pw  
1.1.2 真空度单位 B=Kr J{&!  
1.1.3 真空区域划分 ##mZ97>$  
1.2 真空的获得 -1Tr!I:1  
1.3 真空度测量 =!-}q  
1.3.1 热传导真空计 cr;:5D%_  
1.3.2 热阴极电离真空计 f2~Aug  
1.3.3 冷阴极电离真空计 rC@VMe|0  
1.4 真空度对薄膜工艺的影响 0SvPr [ >  
参考文献 9(t(sP_  
YPx+9^)  
第2章 蒸发技术 np2&W'C/i  
2.1 发展历史与简介 Muwlehuq  
2.2 蒸发的种类 ]Y?Y$>  
2.2.1 电阻热蒸发 Jqb~RP~  
2.2.2 电子束蒸发 D?#l8  
2.2.3 高频感应蒸发 3IRur,|'  
2.2.4 激光束蒸发 Z,"4f*2  
2.2.5 反应蒸发 SY|K9$M^  
2.3 蒸发的应用实例 'IY?=#xr'`  
2.3.1 Cu(In,Ga)Se2薄膜 &]YyV.  
2.3.2 ITO薄膜 T1q27I  
参考文献 A|LO!P,w  
6 D Xja_lp  
第3章 溅射技术 =/K)hI!u  
3.1 溅射基本原理 |8f}3R 9  
3.2 溅射主要参数 tC|?Kl7  
3.2.1 溅射闽和溅射产额 U',C-56z  
3.2.2 溅射粒子的能量和速度 6yy%_+k*  
3.2.3 溅射速率和淀积速率 >3p~>;9sc  
3.3 溅射装置及工艺 PS" rXaY  
3.3.1 阴极溅射 |dQz(z&6{5  
3.3.2 三极溅射和四极溅射 N ;=z o-8  
3.3.3 射频溅射 7LU^Xm8  
3.3.4 磁控溅射 hlL$3.]  
3.3.5 反应溅射 ,r*Kxy  
3.4 离子成膜技术 mDK*LL5]W  
3.4.1 离子镀成膜 .^*;hZ~4%  
3.4.2 离子束成膜 C W#:'  
3.5 溅射技术的应用 Bc.de&Bxz_  
3.5.1 溅射生长过程 Jy/< {7j  
3.5.2 溅射生长Zno薄膜的性能 iO?AY  
参考文献 FWJ**J  
M>Q ZN  
第4章 化学气相沉积 %IBT85{  
4.1 概述 ZeuL*c \  
4.2 硅化学气相沉积 F/ZFO5C%  
4.2.1 CVD反应类型 {,JO}Dmu5  
4.2.2 CVD热力学分析 peu9B gs  
4.2.3 CVD动力学分析 f~wON>$K  
4.2.4 不同硅源的外延生长 :+DrV\)  
4.2.5 成核 O Ol:  
4.2.6 掺杂 2c]"*Pb  
4.2.7 外延层质量 )KE  
4.2.8 生长工艺 H;4QuB'^  
4.3 CVD技术的种类 te( H6c#0  
4.3.1 常压CVD JD#q6 &|  
4.3.2 低压CVD j yD3Sa3  
4.3.3 超高真空CVD WGn=3(4  
4.4 能量增强CVD技术 ]uox ^HC  
4.4.1 等离子增强CVD enJ; #aA  
4.4.2 光增强CVD Op-z"inw  
4.5 卤素输运法 H9)n<r  
4.5.1 氯化物法 86)2\uan  
4.5.2 氢化物法 P4Pc;8T@!  
4.6 MOCVD技术 s0dP3tz>  
4.6.1 MOCVD简介 iY/2 `R  
4.6.2 MOCVD生长GaAs w@^J.7h^  
4.6.3 MOCVD生长GaN r\Y,*e  
4.6.4 MOCVD生长ZnO pgES)  
4.7 特色CVD技术 F}So=Jz9h  
4.7.1 选择外延CVD技术 ?Vd~  
4.7.2 原子层外延 %3qjgyLZ|  
参考文献 5NZuaN  
qm!cv;}c1  
第5章 脉冲激光沉积 5zBA]1PY  
5.1 脉冲激光沉积概述 r1< 'l  
5.2 PLD的基本原理 kMCP .D45;  
5.2.1 激光与靶的相互作用 Zq 85q  
5.2.2 烧蚀物的传输 B za<.E=  
5.2.3 烧蚀粒子在衬底上的沉积 5kw  K%  
5.3 颗粒物的抑制 d[9{&YnH !  
5.4 PLD在Ⅱ-Ⅵ族化合物薄膜中的应用 V8 8u -  
5.4.1 ZnO薄膜的PLD生长 GKIzU^f  
5.4.2 其他Ⅱ-Ⅵ族化合物的PLD生长 -:%QoRC y  
参考文献 Pv5S k8  
Gt#r$.]W?o  
第6章 分子束外延 U\lbh;9G  
6.1 引言 [T_[QU:A  
6.2 分子束外延的原理和特点 d]e36Dwk  
6.3 外延生长设备 39 }e }W"  
6.4 分子束外延生长硅 c qCNk  
6.4.1 表面制备 !6=s{V&r1  
6.4.2 外延生长 s`=| D'G(=  
6.4.3 掺杂 "L]v:lg3  
6.4.4 外延膜的质量诊断 K>+ v" x  
6.5 分子束外延生长Ⅲ-V族化合物半导体材料和结构 0]7jb_n1  
6.5.1 MBE生长GaAs g/.FJ-I*  
6.5.2 MBE生长InAs/GaAs =F_uK7W  
6.5.3 MBE生长GaN K*j OrQf`  
6.6 分子束外延生长Ⅱ一Ⅵ族化合物半导体材料和结构 5go)D+6s  
6.6.1 HgCdTe材料 'S6zkwC]  
6.6.2 CdTe/Si的外延生长 Jn{)CZ  
6.6.3 HgCdTe/Si的外延生长 9ia&/BT7"z  
6.6.4 ZnSe、ZnTe LmJjO:W}^y  
6.6.5 ZnO薄膜 4ct-K)Ris  
6.7 分子束外延生长其他半导体材料和结构 &6CDIxH{  
6.7.1 SiC:材料 acS~%^"<_  
6.7.2 生长小尺寸Ge/Si量子点 t#P7'9Se8  
6.7.3 生长有机半导体薄膜 R?)Yh.vi=t  
参考文献 F}l3\uC]  
/E<Q_/'Z  
第7章 液相外延 ppIXS(  
7.1 液相外延生长的原理 VQ('ejv}/  
7.1.1 液相外延基本概况 T%%EWa<a  
7.1.2 硅液相外延生长的原理 uxxk&+M  
7.2 液相外延生长方法和设备 JvXuN~fI{[  
7.3 液相外延生长的特点 ,M`1 k  
7.4 液相外延的应用实例 h!dij^bD  
7.4.1 硅材料 .>;??BG}  
7.4.2 Ⅲ-V族化合物半导体材料 ltNI+G  
7.4.3 碲镉汞(Hgl-rCdrTe)材料 X$;x2mz nM  
7.4.4 SiC材料 bJMsB|r  
参考文献 HR?T  
!:\0}w$-  
第8章 湿化学制备方法 Ec<33i]h*p  
8.1 溶胶-凝胶技术 f B<Qs.T  
%G(VYCeK  
第9章 半导体超晶格和量子阱 mxCneX  
第10章 半导体器件制备技术 ^E/6 vG  
参考文献 SVVEb6&  
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gqy271 2011-08-16 13:55
我都想要,只可惜带不出国外,所以最好是电子版的
maf999 2012-06-11 09:50
啥东东都卖
douyongming 2012-06-17 17:12
原来是做广告的
wangbiyi 2012-07-08 15:05
来是做广告
wdl_1984722 2012-08-06 19:58
没有讲到物理吧
awesome 2014-04-21 13:28
看目录不错的样子 S ^~"#   
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