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cyqdesign 2010-01-31 22:03

半导体薄膜技术与物理,作者:叶志镇,吕建国,吕斌

《半导体薄膜技术与物理》全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术,第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术,第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论,第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。 @<]sW*s  
《半导体薄膜技术与物理》文字叙述上力求做到深入浅出,内容上深度和宽度相结合,理论和实践相结合,以半导体薄膜技术为重点,结合半导体材料和器件的性能介绍,同时还介绍了半导体薄膜技术与物理领域的新概念、新进展、新成果和新技术。《半导体薄膜技术与物理》具有内容翔实、概念清楚、图文并茂的特点。 O$QtZE61  
《半导体薄膜技术与物理》读者对象广泛,可作为高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材,也可作为从事半导体材料、薄膜材料、光电器件等领域的科研人员、工程技术人员的参考书籍。 }Rujh4*  
叶志镇,男,1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位;毕业后留校工作,1990~1992年留学美国麻省理工学院(MIT);1994年晋升为教授;1996年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 1988年进入浙江大学材料系,在硅材料国家重点实验室一直从事半导体薄膜教学科研工作,主要研究方向:Zn0薄膜材料制备、物性调控及光电应用;纳米薄层材料高真空CVD技术研发及应用。现兼任国家自然科学基金委信息科学部评审组成员,全国电子材料专委副主任,全国半导体与集成技术、半导体材料和半导体物理专委委员等。 Rf*we+  
《半导体薄膜技术与物理》共分十章,以叶志镇教授“半导体薄膜技术物理”讲义为基础编撰而成。第一章叙述了真空技术的基本知识;第二章至第八章是《半导体薄膜技术与物理》的核心内容,结合各种半导体材料,详细介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相沉积和湿化学合成等半导体薄膜技术与物理;第九章介绍了超晶格的相关知识,超晶格、量子阱是现代新型半导体器件的基础和关键;第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术,包括发光二极管、薄膜晶体管和紫外探测器。 m80e^  
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第1章 真空技术 ?y1']GAo  
1.1 真空的基本概念 8<BYAHY^  
1.1.1 真空的定义 WZz8VF  
1.1.2 真空度单位 >< <(6  
1.1.3 真空区域划分 ,;3#}OGg  
1.2 真空的获得 a?Q\nu1  
1.3 真空度测量 { +d](+$  
1.3.1 热传导真空计 K%NNw7\A  
1.3.2 热阴极电离真空计 Z>=IP-,>  
1.3.3 冷阴极电离真空计 q-7C7q  
1.4 真空度对薄膜工艺的影响 w>-@h>Ln  
参考文献 !,D7L6N  
"Zk# bQ2j  
第2章 蒸发技术 pib i#  
2.1 发展历史与简介 yV{&x  
2.2 蒸发的种类 R _#x  
2.2.1 电阻热蒸发 Be~__pd  
2.2.2 电子束蒸发 jA<(#lm;  
2.2.3 高频感应蒸发 kV >[$6  
2.2.4 激光束蒸发 b&q!uFP  
2.2.5 反应蒸发 'G] P09`*)  
2.3 蒸发的应用实例 g]kM7,/M  
2.3.1 Cu(In,Ga)Se2薄膜 w;;yw3  
2.3.2 ITO薄膜 *\#/4_yB}  
参考文献 JONfNb+  
.h({P#QT  
第3章 溅射技术 pe}mA}9U  
3.1 溅射基本原理 w&c6iFMd0  
3.2 溅射主要参数 zN3[W`q+m  
3.2.1 溅射闽和溅射产额 }kJfTsFS  
3.2.2 溅射粒子的能量和速度 |3LD"!rEx  
3.2.3 溅射速率和淀积速率 UCu0Xqf  
3.3 溅射装置及工艺 ++9?LH4S4  
3.3.1 阴极溅射 AN193o   
3.3.2 三极溅射和四极溅射 %}.4c8  
3.3.3 射频溅射 MP/@Mf\<E  
3.3.4 磁控溅射 pm2-F]  
3.3.5 反应溅射 ?L K n  
3.4 离子成膜技术 6XP>qI,AJ  
3.4.1 离子镀成膜 }-Ds%L  
3.4.2 离子束成膜 ^$FNu~|K  
3.5 溅射技术的应用 /Pbytu);ds  
3.5.1 溅射生长过程 + 6noQYe  
3.5.2 溅射生长Zno薄膜的性能 @euH[<  
参考文献 V/.Na(C~  
_sp, ,gz  
第4章 化学气相沉积 LDDg g u   
4.1 概述 $Cgl$A  
4.2 硅化学气相沉积 X| !VjUH  
4.2.1 CVD反应类型 !+UU[uM  
4.2.2 CVD热力学分析 D =+md  
4.2.3 CVD动力学分析 }n Ea9h  
4.2.4 不同硅源的外延生长 ='W=  
4.2.5 成核 hD> ]\u  
4.2.6 掺杂 fMpxe(  
4.2.7 外延层质量 J# >)+  
4.2.8 生长工艺 <USK6!-G  
4.3 CVD技术的种类 o*k.je1  
4.3.1 常压CVD 1;*4y J2  
4.3.2 低压CVD -/V,<@@T  
4.3.3 超高真空CVD F_U9;*f]  
4.4 能量增强CVD技术 f:9b q}vH  
4.4.1 等离子增强CVD c;X%Ar  
4.4.2 光增强CVD ]KQv ]'  
4.5 卤素输运法 cp:U@Nh(  
4.5.1 氯化物法 G?M<B~}  
4.5.2 氢化物法 ndmsXls  
4.6 MOCVD技术 L[s`8u<_)z  
4.6.1 MOCVD简介 !"g2F}n  
4.6.2 MOCVD生长GaAs t!8(IR  
4.6.3 MOCVD生长GaN vh$If0  
4.6.4 MOCVD生长ZnO 0&~ JC>S  
4.7 特色CVD技术 <~ Dq8If  
4.7.1 选择外延CVD技术 `<3%`4z/  
4.7.2 原子层外延 }WA =  
参考文献 dEhFuNO<2  
|C"zK  
第5章 脉冲激光沉积 _v#Vf*#  
5.1 脉冲激光沉积概述 b F MBIA|  
5.2 PLD的基本原理 FUP0X2P   
5.2.1 激光与靶的相互作用 Y|l&mK?  
5.2.2 烧蚀物的传输 <.Dg3RH  
5.2.3 烧蚀粒子在衬底上的沉积 7;I;(iY  
5.3 颗粒物的抑制 "X(9.6$_  
5.4 PLD在Ⅱ-Ⅵ族化合物薄膜中的应用 O:]e4r,'  
5.4.1 ZnO薄膜的PLD生长 S`Xx('!/|  
5.4.2 其他Ⅱ-Ⅵ族化合物的PLD生长 /;5/7Bvj  
参考文献 */APe #  
&s(mbpV  
第6章 分子束外延 Z,~PW#8<&  
6.1 引言 `Hx JE"/  
6.2 分子束外延的原理和特点 8DuD1hZq  
6.3 外延生长设备 XxYwBc'pc  
6.4 分子束外延生长硅 zcy`8&{A<?  
6.4.1 表面制备 J'E?Z0  
6.4.2 外延生长 1 )H;}%[  
6.4.3 掺杂 ri2`M\;gt  
6.4.4 外延膜的质量诊断 tZ.hSDH  
6.5 分子束外延生长Ⅲ-V族化合物半导体材料和结构 czLY+I;V3  
6.5.1 MBE生长GaAs ~c=F$M^"c  
6.5.2 MBE生长InAs/GaAs NI:3hfs  
6.5.3 MBE生长GaN JA$RY  
6.6 分子束外延生长Ⅱ一Ⅵ族化合物半导体材料和结构 qoP /` Y6  
6.6.1 HgCdTe材料 gF2,Jm@"6  
6.6.2 CdTe/Si的外延生长 w.(?O;  
6.6.3 HgCdTe/Si的外延生长 ":_~(?1+  
6.6.4 ZnSe、ZnTe l`A e&nc6  
6.6.5 ZnO薄膜 =3Ohy,5L  
6.7 分子束外延生长其他半导体材料和结构 Fr_6pEH]}  
6.7.1 SiC:材料 =`k', V_  
6.7.2 生长小尺寸Ge/Si量子点 O'{g{  
6.7.3 生长有机半导体薄膜 (@Kc(>(: Y  
参考文献 :CsrcT=  
Eq=j+ch7  
第7章 液相外延 FOAXm4"  
7.1 液相外延生长的原理 zGwM# -  
7.1.1 液相外延基本概况 xC9?Wt'  
7.1.2 硅液相外延生长的原理 Yw6uh4  
7.2 液相外延生长方法和设备 6@x^,SA  
7.3 液相外延生长的特点 $T6+6<  
7.4 液相外延的应用实例 HF<h-gX  
7.4.1 硅材料 e0M'\'J  
7.4.2 Ⅲ-V族化合物半导体材料 B"rO  
7.4.3 碲镉汞(Hgl-rCdrTe)材料 Ki>XLX,er=  
7.4.4 SiC材料 (sSGJS'X  
参考文献 K 8W99:v  
s~m]>^?8MR  
第8章 湿化学制备方法 RBLOc$2  
8.1 溶胶-凝胶技术 TSH'OW !b  
Dqc2;>  
第9章 半导体超晶格和量子阱 9 /=+2SZ  
第10章 半导体器件制备技术 T0@$6&b%\z  
参考文献 YH&q5W,KX  
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gqy271 2011-08-16 13:55
我都想要,只可惜带不出国外,所以最好是电子版的
maf999 2012-06-11 09:50
啥东东都卖
douyongming 2012-06-17 17:12
原来是做广告的
wangbiyi 2012-07-08 15:05
来是做广告
wdl_1984722 2012-08-06 19:58
没有讲到物理吧
awesome 2014-04-21 13:28
看目录不错的样子 Fw8b^ew  
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