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cyqdesign 2010-01-31 22:03

半导体薄膜技术与物理,作者:叶志镇,吕建国,吕斌

《半导体薄膜技术与物理》全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术,第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术,第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论,第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。 fQP{|+4  
《半导体薄膜技术与物理》文字叙述上力求做到深入浅出,内容上深度和宽度相结合,理论和实践相结合,以半导体薄膜技术为重点,结合半导体材料和器件的性能介绍,同时还介绍了半导体薄膜技术与物理领域的新概念、新进展、新成果和新技术。《半导体薄膜技术与物理》具有内容翔实、概念清楚、图文并茂的特点。 ltFq/M  
《半导体薄膜技术与物理》读者对象广泛,可作为高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材,也可作为从事半导体材料、薄膜材料、光电器件等领域的科研人员、工程技术人员的参考书籍。 s{w[b\rA  
叶志镇,男,1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位;毕业后留校工作,1990~1992年留学美国麻省理工学院(MIT);1994年晋升为教授;1996年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 1988年进入浙江大学材料系,在硅材料国家重点实验室一直从事半导体薄膜教学科研工作,主要研究方向:Zn0薄膜材料制备、物性调控及光电应用;纳米薄层材料高真空CVD技术研发及应用。现兼任国家自然科学基金委信息科学部评审组成员,全国电子材料专委副主任,全国半导体与集成技术、半导体材料和半导体物理专委委员等。 Ssk}e=]  
《半导体薄膜技术与物理》共分十章,以叶志镇教授“半导体薄膜技术物理”讲义为基础编撰而成。第一章叙述了真空技术的基本知识;第二章至第八章是《半导体薄膜技术与物理》的核心内容,结合各种半导体材料,详细介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相沉积和湿化学合成等半导体薄膜技术与物理;第九章介绍了超晶格的相关知识,超晶格、量子阱是现代新型半导体器件的基础和关键;第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术,包括发光二极管、薄膜晶体管和紫外探测器。 \(">K  
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第1章 真空技术 >Yt/]ta4+  
1.1 真空的基本概念 3/#:~a9Q  
1.1.1 真空的定义 D3c2^r $Z  
1.1.2 真空度单位 "6a8s;  
1.1.3 真空区域划分 <94_@3  
1.2 真空的获得 3 v")J*t  
1.3 真空度测量 "z<azs  
1.3.1 热传导真空计 F} d  
1.3.2 热阴极电离真空计 p!/[K6u  
1.3.3 冷阴极电离真空计 <A9y9|>o  
1.4 真空度对薄膜工艺的影响 w{dIFvQ"$  
参考文献 oy<WUb9W  
qT/Do?Y  
第2章 蒸发技术 _ %%Z6x(  
2.1 发展历史与简介 $v8l0JA *  
2.2 蒸发的种类 5 |/9}^T  
2.2.1 电阻热蒸发 G Xt4j  
2.2.2 电子束蒸发 StI1){Wf  
2.2.3 高频感应蒸发 3Oa*%kP+  
2.2.4 激光束蒸发 Ys8SDlMo  
2.2.5 反应蒸发  9dzdrT  
2.3 蒸发的应用实例 CB~Q%QLG  
2.3.1 Cu(In,Ga)Se2薄膜 !K? qgM  
2.3.2 ITO薄膜 al+ #y)+  
参考文献 "S&%w8V  
R4Rb73o  
第3章 溅射技术 $0^P0RAH  
3.1 溅射基本原理 I\ | N  
3.2 溅射主要参数 ^h &I H|  
3.2.1 溅射闽和溅射产额 C!C|\$)-  
3.2.2 溅射粒子的能量和速度 xug)aE  
3.2.3 溅射速率和淀积速率 pb0E@C/R  
3.3 溅射装置及工艺 ?r_l8  
3.3.1 阴极溅射 _8G>&K3T<  
3.3.2 三极溅射和四极溅射 t4K~cK  
3.3.3 射频溅射 9%sM*[A  
3.3.4 磁控溅射 [i]r-|_K  
3.3.5 反应溅射 U.T|   
3.4 离子成膜技术 abxDB  
3.4.1 离子镀成膜 F\ctuaLC  
3.4.2 离子束成膜 O--7<Q\  
3.5 溅射技术的应用 c<#<k}y  
3.5.1 溅射生长过程 wve=.n  
3.5.2 溅射生长Zno薄膜的性能 o/o:2p.  
参考文献 (qwdQMj`  
_#o' +_Z  
第4章 化学气相沉积 D=RU`?L  
4.1 概述 zdSh:  
4.2 硅化学气相沉积 9SMiJad<  
4.2.1 CVD反应类型 hnWo|! ,O$  
4.2.2 CVD热力学分析 0uCT+-  
4.2.3 CVD动力学分析 UK*qKj. )  
4.2.4 不同硅源的外延生长 9N[EZhW  
4.2.5 成核 xv7"WFb  
4.2.6 掺杂 9j*0D("  
4.2.7 外延层质量 ~YCuO0t  
4.2.8 生长工艺 6k?`:QK/sl  
4.3 CVD技术的种类 T@^]i&  
4.3.1 常压CVD A<YsfDa_d  
4.3.2 低压CVD ep(g`e  
4.3.3 超高真空CVD 8n4V cu  
4.4 能量增强CVD技术 #G3N(wV3  
4.4.1 等离子增强CVD }gf}eH  
4.4.2 光增强CVD A[UP"P~u/  
4.5 卤素输运法 =FW5Tkw0  
4.5.1 氯化物法 h7qBp300  
4.5.2 氢化物法 |sgXh9%x<  
4.6 MOCVD技术 \)m"3yY  
4.6.1 MOCVD简介 ZI ?W5ISdg  
4.6.2 MOCVD生长GaAs >{Rb 3Z]  
4.6.3 MOCVD生长GaN h[XGC =%  
4.6.4 MOCVD生长ZnO yZ}d+7T}  
4.7 特色CVD技术 >Cd9fJ&0gP  
4.7.1 选择外延CVD技术 nv5u%B^  
4.7.2 原子层外延 Qu{c B^Ga*  
参考文献 Uedvc5><t  
N b3$4(F  
第5章 脉冲激光沉积 7y*ZXT]f  
5.1 脉冲激光沉积概述  [~Hg}-c  
5.2 PLD的基本原理 ; 7G_f  
5.2.1 激光与靶的相互作用 L*]E`Xxd9  
5.2.2 烧蚀物的传输 s ?l%L!  
5.2.3 烧蚀粒子在衬底上的沉积 qJ[@:&:  
5.3 颗粒物的抑制 p {%t q$}.  
5.4 PLD在Ⅱ-Ⅵ族化合物薄膜中的应用 Ri?\m!o  
5.4.1 ZnO薄膜的PLD生长 1"K*._K  
5.4.2 其他Ⅱ-Ⅵ族化合物的PLD生长 :X .,  
参考文献 0kCQ0xB[a5  
[^PCm Z6n  
第6章 分子束外延 oJaAM|7uv  
6.1 引言 p4/$EPt)lY  
6.2 分子束外延的原理和特点 2DMrMmLI  
6.3 外延生长设备 J l7z|QS  
6.4 分子束外延生长硅 & QZVq"  
6.4.1 表面制备 fB#XhO  
6.4.2 外延生长 ,9/5T:2  
6.4.3 掺杂 `"y{;PCt_  
6.4.4 外延膜的质量诊断 ?=|kC*$/G  
6.5 分子束外延生长Ⅲ-V族化合物半导体材料和结构 Ht=$] Px  
6.5.1 MBE生长GaAs S6 }QFx  
6.5.2 MBE生长InAs/GaAs /! ^P)yU,  
6.5.3 MBE生长GaN O<,r>b,  
6.6 分子束外延生长Ⅱ一Ⅵ族化合物半导体材料和结构 ,# "(Z  
6.6.1 HgCdTe材料 -2NwF4VL  
6.6.2 CdTe/Si的外延生长 LR$z0rDEM  
6.6.3 HgCdTe/Si的外延生长 EZ% .M*?  
6.6.4 ZnSe、ZnTe Q(\ wx  
6.6.5 ZnO薄膜 2Ug.:![  
6.7 分子束外延生长其他半导体材料和结构 StM/  
6.7.1 SiC:材料 B3L4F"  
6.7.2 生长小尺寸Ge/Si量子点 |6B6?'  
6.7.3 生长有机半导体薄膜 %RFYm  
参考文献 zv%J=N$G  
}V^e7d  
第7章 液相外延 J@bW^>g*6u  
7.1 液相外延生长的原理 ?6:cNdN  
7.1.1 液相外延基本概况 +Hyk'=.W  
7.1.2 硅液相外延生长的原理 FP;": iRL  
7.2 液相外延生长方法和设备 |[w^eg  
7.3 液相外延生长的特点 0^\/ERK  
7.4 液相外延的应用实例 OJ[rj`wrW^  
7.4.1 硅材料 ( Yi=v'd  
7.4.2 Ⅲ-V族化合物半导体材料 :`<psvd  
7.4.3 碲镉汞(Hgl-rCdrTe)材料 F X 1C e  
7.4.4 SiC材料  <qn,  
参考文献 Z t`j\^4n  
tP]q4i  
第8章 湿化学制备方法 5^|"_Q#:  
8.1 溶胶-凝胶技术 U?6yke  
!1-&Y'+  
第9章 半导体超晶格和量子阱 i ^S2%qz  
第10章 半导体器件制备技术 g5TkD~w"  
参考文献 }vsO^4Sjc  
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gqy271 2011-08-16 13:55
我都想要,只可惜带不出国外,所以最好是电子版的
maf999 2012-06-11 09:50
啥东东都卖
douyongming 2012-06-17 17:12
原来是做广告的
wangbiyi 2012-07-08 15:05
来是做广告
wdl_1984722 2012-08-06 19:58
没有讲到物理吧
awesome 2014-04-21 13:28
看目录不错的样子 ??+:vai2  
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