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cyqdesign 2010-01-31 22:03

半导体薄膜技术与物理,作者:叶志镇,吕建国,吕斌

《半导体薄膜技术与物理》全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术,第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术,第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论,第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。 ?HBc7$nW  
《半导体薄膜技术与物理》文字叙述上力求做到深入浅出,内容上深度和宽度相结合,理论和实践相结合,以半导体薄膜技术为重点,结合半导体材料和器件的性能介绍,同时还介绍了半导体薄膜技术与物理领域的新概念、新进展、新成果和新技术。《半导体薄膜技术与物理》具有内容翔实、概念清楚、图文并茂的特点。 (yZ^Y'0  
《半导体薄膜技术与物理》读者对象广泛,可作为高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材,也可作为从事半导体材料、薄膜材料、光电器件等领域的科研人员、工程技术人员的参考书籍。 N8!B2uPQ  
叶志镇,男,1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位;毕业后留校工作,1990~1992年留学美国麻省理工学院(MIT);1994年晋升为教授;1996年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 1988年进入浙江大学材料系,在硅材料国家重点实验室一直从事半导体薄膜教学科研工作,主要研究方向:Zn0薄膜材料制备、物性调控及光电应用;纳米薄层材料高真空CVD技术研发及应用。现兼任国家自然科学基金委信息科学部评审组成员,全国电子材料专委副主任,全国半导体与集成技术、半导体材料和半导体物理专委委员等。 Lu<'A4Q1  
《半导体薄膜技术与物理》共分十章,以叶志镇教授“半导体薄膜技术物理”讲义为基础编撰而成。第一章叙述了真空技术的基本知识;第二章至第八章是《半导体薄膜技术与物理》的核心内容,结合各种半导体材料,详细介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相沉积和湿化学合成等半导体薄膜技术与物理;第九章介绍了超晶格的相关知识,超晶格、量子阱是现代新型半导体器件的基础和关键;第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术,包括发光二极管、薄膜晶体管和紫外探测器。 #q=?Zu^Da  
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第1章 真空技术 u'iOa  
1.1 真空的基本概念 le1'r>E$  
1.1.1 真空的定义 _E?(cWC  
1.1.2 真空度单位 |D<~a(0  
1.1.3 真空区域划分 J NsK   
1.2 真空的获得 _El=M0  
1.3 真空度测量 ty "k  
1.3.1 热传导真空计 {Ynr(J.  
1.3.2 热阴极电离真空计 z43H]  
1.3.3 冷阴极电离真空计 pfZxG.l  
1.4 真空度对薄膜工艺的影响 3s$m0  
参考文献 ~s !+9\Fi  
7?F0~[eGG  
第2章 蒸发技术 > ^D10Nf*  
2.1 发展历史与简介 l3.HL> o  
2.2 蒸发的种类 \.}* s]6  
2.2.1 电阻热蒸发 B` n!IgF8  
2.2.2 电子束蒸发 (h2bxfV~+  
2.2.3 高频感应蒸发 rH & ^SNc  
2.2.4 激光束蒸发 p>!`JU`{?  
2.2.5 反应蒸发 6Si z9  
2.3 蒸发的应用实例 ]ul]L R%.  
2.3.1 Cu(In,Ga)Se2薄膜 Pxl7zz&pl=  
2.3.2 ITO薄膜 !K3 #4   
参考文献 QQ pe.oF  
8Kv=Zp,?`  
第3章 溅射技术 O.!|;)HQ  
3.1 溅射基本原理 )=2iGEVW  
3.2 溅射主要参数 I>fEwMk~  
3.2.1 溅射闽和溅射产额 /}(w{6C  
3.2.2 溅射粒子的能量和速度 F2lTDuk>C  
3.2.3 溅射速率和淀积速率 R5|c4v{B  
3.3 溅射装置及工艺 pOx0f;'G+  
3.3.1 阴极溅射 )6Hc Pso6  
3.3.2 三极溅射和四极溅射 E{1O<qO<  
3.3.3 射频溅射 X 5pp8~  
3.3.4 磁控溅射 )ASI 41  
3.3.5 反应溅射 O?rVa:\  
3.4 离子成膜技术 ~ /]u72?rP  
3.4.1 离子镀成膜 "1WwSh}Z  
3.4.2 离子束成膜 ..;}EFw5  
3.5 溅射技术的应用 ^jqQG+`?  
3.5.1 溅射生长过程 F0])g  
3.5.2 溅射生长Zno薄膜的性能 xyBWV]Y  
参考文献 0c /xE<h  
P^T]Ubv"  
第4章 化学气相沉积 6|~N5E~SX  
4.1 概述 l/#;GYB]  
4.2 硅化学气相沉积 ALJ^XvB4V  
4.2.1 CVD反应类型 AEp|#H' >  
4.2.2 CVD热力学分析 6XKiVP;h%  
4.2.3 CVD动力学分析 _e7 Y R+  
4.2.4 不同硅源的外延生长 E.zY(#S  
4.2.5 成核 o@XhL9  
4.2.6 掺杂 +VCG/J  
4.2.7 外延层质量 tp7cc;0  
4.2.8 生长工艺 ^FIpkhw  
4.3 CVD技术的种类 0 z.oPV@  
4.3.1 常压CVD p gW BW9\  
4.3.2 低压CVD <My4 )3  
4.3.3 超高真空CVD <y7nGXzLK  
4.4 能量增强CVD技术 aHuZzYQ*"j  
4.4.1 等离子增强CVD L9W'TvTwo  
4.4.2 光增强CVD M&wf4)*%0+  
4.5 卤素输运法 Gx,<|v  
4.5.1 氯化物法 $~W =)f9  
4.5.2 氢化物法 xU6)~ae`JW  
4.6 MOCVD技术  At3>  
4.6.1 MOCVD简介 @FO= 0_;y  
4.6.2 MOCVD生长GaAs ga%gu9  
4.6.3 MOCVD生长GaN I!Z=3 $,  
4.6.4 MOCVD生长ZnO qT5q3A(8  
4.7 特色CVD技术 z10J8Ms'  
4.7.1 选择外延CVD技术 ps[HvV"  
4.7.2 原子层外延 Z8I  Y!d  
参考文献 # 3UrGom  
Dc-v`jZ@)  
第5章 脉冲激光沉积 KW`^uoY$  
5.1 脉冲激光沉积概述 QM wrt  
5.2 PLD的基本原理 (#KSwWo{ed  
5.2.1 激光与靶的相互作用 pL 2P .  
5.2.2 烧蚀物的传输 +&bJhX  
5.2.3 烧蚀粒子在衬底上的沉积 =#L\fe)q)  
5.3 颗粒物的抑制 ktF\f[  
5.4 PLD在Ⅱ-Ⅵ族化合物薄膜中的应用 C%&A9(jG  
5.4.1 ZnO薄膜的PLD生长 @$mh0K>  
5.4.2 其他Ⅱ-Ⅵ族化合物的PLD生长 g6aIS^mU  
参考文献 UZvF5Hoe+O  
eO%w i.Q  
第6章 分子束外延 @:s (L]  
6.1 引言 EC;R^)  
6.2 分子束外延的原理和特点 6Uh_&?\%  
6.3 外延生长设备 %j $r"  
6.4 分子束外延生长硅 <UsFBF  
6.4.1 表面制备 &"l Sq2  
6.4.2 外延生长 g&&-  
6.4.3 掺杂 IX+!+XC"U  
6.4.4 外延膜的质量诊断 ERTjY%A  
6.5 分子束外延生长Ⅲ-V族化合物半导体材料和结构 K4U_sCh#f  
6.5.1 MBE生长GaAs pz4lC=H%o  
6.5.2 MBE生长InAs/GaAs [Z]%jABR  
6.5.3 MBE生长GaN 8SGqDaRt  
6.6 分子束外延生长Ⅱ一Ⅵ族化合物半导体材料和结构 "zE>+zRl  
6.6.1 HgCdTe材料 H^ds<I<)  
6.6.2 CdTe/Si的外延生长 BFnp[93N  
6.6.3 HgCdTe/Si的外延生长 CWdpF>En  
6.6.4 ZnSe、ZnTe unvS`>)Np  
6.6.5 ZnO薄膜 ZX0#I W  
6.7 分子束外延生长其他半导体材料和结构 dp}s]`x+  
6.7.1 SiC:材料 N++ ;}j  
6.7.2 生长小尺寸Ge/Si量子点 yOTC>?p%  
6.7.3 生长有机半导体薄膜 He9Er  
参考文献 nixIKOnjC  
M!R=&a=Z  
第7章 液相外延 9ERyr1-u v  
7.1 液相外延生长的原理 U%rEW[j  
7.1.1 液相外延基本概况 lJvfgP-j  
7.1.2 硅液相外延生长的原理 "W^+NeLc  
7.2 液相外延生长方法和设备 q:cCk#ra  
7.3 液相外延生长的特点 ZyX+V?4  
7.4 液相外延的应用实例 LK|1[y^h  
7.4.1 硅材料 )k[{re  
7.4.2 Ⅲ-V族化合物半导体材料 H-iCaXT  
7.4.3 碲镉汞(Hgl-rCdrTe)材料 :@4+}  
7.4.4 SiC材料 y$8S+N?>  
参考文献 Egt !N  
719lfI&s  
第8章 湿化学制备方法 XwZR Kh\>=  
8.1 溶胶-凝胶技术 lJ Jn@A  
V}h <,E9  
第9章 半导体超晶格和量子阱 sK@]|9ciQ  
第10章 半导体器件制备技术 L[voouaqm  
参考文献 =d BK,/  
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gqy271 2011-08-16 13:55
我都想要,只可惜带不出国外,所以最好是电子版的
maf999 2012-06-11 09:50
啥东东都卖
douyongming 2012-06-17 17:12
原来是做广告的
wangbiyi 2012-07-08 15:05
来是做广告
wdl_1984722 2012-08-06 19:58
没有讲到物理吧
awesome 2014-04-21 13:28
看目录不错的样子 /%F5u}eW  
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