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cyqdesign 2010-01-31 22:03

半导体薄膜技术与物理,作者:叶志镇,吕建国,吕斌

《半导体薄膜技术与物理》全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术,第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术,第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论,第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。 \}%_FnP0ZU  
《半导体薄膜技术与物理》文字叙述上力求做到深入浅出,内容上深度和宽度相结合,理论和实践相结合,以半导体薄膜技术为重点,结合半导体材料和器件的性能介绍,同时还介绍了半导体薄膜技术与物理领域的新概念、新进展、新成果和新技术。《半导体薄膜技术与物理》具有内容翔实、概念清楚、图文并茂的特点。 /reGT!u  
《半导体薄膜技术与物理》读者对象广泛,可作为高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材,也可作为从事半导体材料、薄膜材料、光电器件等领域的科研人员、工程技术人员的参考书籍。 4F6I7lu  
叶志镇,男,1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位;毕业后留校工作,1990~1992年留学美国麻省理工学院(MIT);1994年晋升为教授;1996年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 1988年进入浙江大学材料系,在硅材料国家重点实验室一直从事半导体薄膜教学科研工作,主要研究方向:Zn0薄膜材料制备、物性调控及光电应用;纳米薄层材料高真空CVD技术研发及应用。现兼任国家自然科学基金委信息科学部评审组成员,全国电子材料专委副主任,全国半导体与集成技术、半导体材料和半导体物理专委委员等。 dcTZL$  
《半导体薄膜技术与物理》共分十章,以叶志镇教授“半导体薄膜技术物理”讲义为基础编撰而成。第一章叙述了真空技术的基本知识;第二章至第八章是《半导体薄膜技术与物理》的核心内容,结合各种半导体材料,详细介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相沉积和湿化学合成等半导体薄膜技术与物理;第九章介绍了超晶格的相关知识,超晶格、量子阱是现代新型半导体器件的基础和关键;第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术,包括发光二极管、薄膜晶体管和紫外探测器。 LN5BU,4=  
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第1章 真空技术 C3N1t  
1.1 真空的基本概念 m:Rm(ga9  
1.1.1 真空的定义 8zcS h/  
1.1.2 真空度单位 Wb#<ctM>  
1.1.3 真空区域划分 R4'>5.M  
1.2 真空的获得 O2yD{i#l*#  
1.3 真空度测量 XiV K4sD8  
1.3.1 热传导真空计 :7X{s4AU6  
1.3.2 热阴极电离真空计 LOu9#w"  
1.3.3 冷阴极电离真空计 )~S`[jV5  
1.4 真空度对薄膜工艺的影响 osmCwM4O  
参考文献 #;lEx'lKN  
n5efHJU  
第2章 蒸发技术 S6C DK:  
2.1 发展历史与简介 k]P'D .  
2.2 蒸发的种类 44t;#6p@%>  
2.2.1 电阻热蒸发 keKsLrd  
2.2.2 电子束蒸发 *a0#PfS[  
2.2.3 高频感应蒸发 O'xp"e,  
2.2.4 激光束蒸发 "vkM*HP  
2.2.5 反应蒸发 I2NMn5>  
2.3 蒸发的应用实例 Xr4k]'Mg  
2.3.1 Cu(In,Ga)Se2薄膜 ??|,wIRz  
2.3.2 ITO薄膜 ?5;wPDsK  
参考文献 QNv5CQ&  
Im};wJ&  
第3章 溅射技术 G(o6/  
3.1 溅射基本原理 0r[a$p>`  
3.2 溅射主要参数 n=0^8QQ  
3.2.1 溅射闽和溅射产额 cG3tn&AXi  
3.2.2 溅射粒子的能量和速度 h/y0Q~|/d  
3.2.3 溅射速率和淀积速率 {j<?+o5A  
3.3 溅射装置及工艺 YACx9K H  
3.3.1 阴极溅射 FPZ@6  
3.3.2 三极溅射和四极溅射 xF YHv@g  
3.3.3 射频溅射 q$s)(D  
3.3.4 磁控溅射 m]'+Eye ]r  
3.3.5 反应溅射 KG96;l@'(  
3.4 离子成膜技术 M?<iQxtyb}  
3.4.1 离子镀成膜 mq(K_  
3.4.2 离子束成膜 ZEpu5`  
3.5 溅射技术的应用 cg_tJ^vrY  
3.5.1 溅射生长过程 v}z^M_eFm  
3.5.2 溅射生长Zno薄膜的性能 ;<6S\  
参考文献 aW;)-0+  
9KT85t1#  
第4章 化学气相沉积 Y(ClG*6 ++  
4.1 概述 ^)$T`  
4.2 硅化学气相沉积 R!\._m?\h  
4.2.1 CVD反应类型 W'E3_dj+  
4.2.2 CVD热力学分析 (Hmhb}H  
4.2.3 CVD动力学分析 vDR> Q&/K  
4.2.4 不同硅源的外延生长 !:uh? RW  
4.2.5 成核 naeppBo  
4.2.6 掺杂 +(w9! 5?F  
4.2.7 外延层质量 f{\[+>  
4.2.8 生长工艺 C nD3%%  
4.3 CVD技术的种类 >m=XqtP  
4.3.1 常压CVD .%\||1F<  
4.3.2 低压CVD N[DKA1Ei  
4.3.3 超高真空CVD ymR AQVv  
4.4 能量增强CVD技术 _0\wyjjU  
4.4.1 等离子增强CVD 46 |LIc }  
4.4.2 光增强CVD X*bOE}  
4.5 卤素输运法 $%ztP Ta  
4.5.1 氯化物法 !HW?/-\,O  
4.5.2 氢化物法 e;"%h%'  
4.6 MOCVD技术 \ 9sJ`,T?  
4.6.1 MOCVD简介 62[_u]<Yub  
4.6.2 MOCVD生长GaAs EU Oa8Z  
4.6.3 MOCVD生长GaN A9Pq}3U  
4.6.4 MOCVD生长ZnO wLg@BSC.  
4.7 特色CVD技术 Np.<&`p!  
4.7.1 选择外延CVD技术 Z%SDN"+'g  
4.7.2 原子层外延 Cs,t:ajP  
参考文献 Q%V530 P;  
C [8='i26  
第5章 脉冲激光沉积 /de~+I5AB~  
5.1 脉冲激光沉积概述 "Gq%^^ *  
5.2 PLD的基本原理 />7G  
5.2.1 激光与靶的相互作用 =#%Vs>G  
5.2.2 烧蚀物的传输 <c [X^8   
5.2.3 烧蚀粒子在衬底上的沉积 0Yr-Q;O<f  
5.3 颗粒物的抑制 )G#O#Yy  
5.4 PLD在Ⅱ-Ⅵ族化合物薄膜中的应用 Q[aBxy (  
5.4.1 ZnO薄膜的PLD生长 G?:5L0g  
5.4.2 其他Ⅱ-Ⅵ族化合物的PLD生长 lXnv(3j3*s  
参考文献 _w%{yF6   
,twm)%caU  
第6章 分子束外延 Z22#lF\N  
6.1 引言 _M- PF$  
6.2 分子束外延的原理和特点 o'YK\L!p  
6.3 外延生长设备 >[P`$XkXd4  
6.4 分子束外延生长硅 DM(c :+K-  
6.4.1 表面制备 r#6djs1  
6.4.2 外延生长 U/\LOIs  
6.4.3 掺杂 N_VWA.JHt  
6.4.4 外延膜的质量诊断 KM-7w66V  
6.5 分子束外延生长Ⅲ-V族化合物半导体材料和结构 zogl2e+  
6.5.1 MBE生长GaAs )hfI,9I~  
6.5.2 MBE生长InAs/GaAs sz4;hSTy  
6.5.3 MBE生长GaN O[9A}g2~  
6.6 分子束外延生长Ⅱ一Ⅵ族化合物半导体材料和结构 A_5M\iN\  
6.6.1 HgCdTe材料 ~eekv5  
6.6.2 CdTe/Si的外延生长  .V l  
6.6.3 HgCdTe/Si的外延生长 TM,Fab &  
6.6.4 ZnSe、ZnTe &^B;1ZMHD  
6.6.5 ZnO薄膜 QY1|:(  
6.7 分子束外延生长其他半导体材料和结构 ^4a|gc  
6.7.1 SiC:材料 1?".R]<{2T  
6.7.2 生长小尺寸Ge/Si量子点 uCf _O~  
6.7.3 生长有机半导体薄膜 oUN;u*  
参考文献 7x(z  
Tpp?(lT7r  
第7章 液相外延 WiF6*]oI  
7.1 液相外延生长的原理 mGc i >)2  
7.1.1 液相外延基本概况 {6;S= 9E\  
7.1.2 硅液相外延生长的原理 7qhX `$  
7.2 液相外延生长方法和设备 @t3&#I}mc  
7.3 液相外延生长的特点 ?T8^tGD[  
7.4 液相外延的应用实例 2P?|'U  
7.4.1 硅材料 ()(/9t  
7.4.2 Ⅲ-V族化合物半导体材料 VP"C|j^I  
7.4.3 碲镉汞(Hgl-rCdrTe)材料 S&Sa~Oq<o  
7.4.4 SiC材料 EN@<z;  
参考文献 j\uPOn8k  
2zbV9Bhq  
第8章 湿化学制备方法 `4t*H>:y  
8.1 溶胶-凝胶技术 OUtMel_  
RjGJfN {  
第9章 半导体超晶格和量子阱 tS3{y*yi  
第10章 半导体器件制备技术 <io;d$=}  
参考文献 M tBoX*"  
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gqy271 2011-08-16 13:55
我都想要,只可惜带不出国外,所以最好是电子版的
maf999 2012-06-11 09:50
啥东东都卖
douyongming 2012-06-17 17:12
原来是做广告的
wangbiyi 2012-07-08 15:05
来是做广告
wdl_1984722 2012-08-06 19:58
没有讲到物理吧
awesome 2014-04-21 13:28
看目录不错的样子 [Qn$i/ ` J  
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