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ttxs	2009-11-23 11:04
请问有没有在Silica上刻光波导方面的资料？用集成电路的工艺来刻蚀Silicon很容易，除了在设计方面费点事。 K@:m/Z}\|4 如果我想用传统的二氧化硅刻光波导（AWG的那些东西），工艺就不同，应为Silica不容易刻。 :`Az/U[ 哪位高手有用Silica刻光波导的资料？谢谢了。 Vpp&\|n9^

gqy271	2010-06-14 14:34
我也想要

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