超难, 请指教. 关于面型

1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm ,
2. Mirror: Wavefront error < λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15
请问1/10 和 1/15 在这里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不尽. Zernike Poly是波前误差的什么多项式, 那么15指什么? 如果能简明告知原理, 感激涕零.
我已经被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全
搞晕了. 似乎整个工厂都没人懂, 不过zygo上面好像有这些数据, 晕啊, 到底哪个是哪个啊.
请高人指点.

工光	2009-10-30 20:40
抱歉我不会

dodgygeeze	2009-10-31 10:27
没有人会啊? 整个业界都没有?

zj01211984	2009-11-05 23:57
是不是多项式最后的停止计算的误差范围啊？

ciomper

2009-11-10 21:05

（1）1/10 λ @ 632.8nm 指平面镜的面形精度峰谷值为十分之一波长，相对He-Ne激光器的632.8nm 而言，ZYGO使用的就是这个波长的光源。再说明白点，相当于平面镜最高点和最低点距离不超过63.28nm。
Surface Accuracy 指这片镜子的面形精度，非要对应的话，此处相当于传统的局部光圈ΔN=0.1
（2）Wavefront error < λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15
Wavefront error指标准平面波经平面镜反射后的波前差大小。
使用少于15项的zernike多项式通过拟合波前，得到波前的均方根值优于λ /15 （λ=1.315 μm）。此处波前跟反射镜面形是二倍关系。
使用15项zernike多项式的意思是对低频部分而言，忽略高频。（拟合波前时使用的zernike多项式项数越多，可代表的表面起伏数目就越多，可参考相关资料）
一般对平面镜而言，使用15项或者更多的项数，面形的均方根值不会有太多变化。

拈花狞笑	2009-11-12 09:41
楼上说的很详细了，赞！

wmh1985	2019-03-25 13:28
楼主说的很详尽啊！

xiaoyu52152	2019-03-26 09:22
学习一下新知识

jiepang	2019-04-11 14:38
4楼已经完美解答了

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