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1985120	2009-10-08 13:50
什么是保护气，镀膜中的保护气起什么作用啊？什么是保护气，镀膜中的保护气起什么作用啊？

韦尔铭	2022-12-07 13:55
1、镀金属膜时，一般用氩气作为工作气体，它是惰性气体，在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。2、氧气一般用于镀非金属膜，如TiO2，不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。3、氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体，让真空室内压强和大气压强保持相等，才能开盖换靶镀另一层膜。

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