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eeaarr 2009-09-29 08:42

磁控溅射过程中,电压为什么会上升?

磁控溅射镀Ni-Si膜过程中,电压为什么会慢慢上升?从44升到60
rock5330 2009-09-30 13:39
你使用直流溅射吧……
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