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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 镀膜中的白点有哪些种类？请高手帮忙 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

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shenbin

2009-09-14 18:30

镀膜中的白点有哪些种类？请高手帮忙

我现在在学习给投影仪中的大棱镜镀AR膜，但是总是有大概10%-20%白点不量出现。
其中有些用手摸，表面是凸起的，能拨去，然后有个坑。
而另外一些根本拨不去，用手摸表面也是平的，和第1种完全不一样。
不知道第2种是什么原因有人知道吗

先在这里
谢谢了

名户用	2009-09-19 18:07
第一种应该是MGF2溅料了。 R &4Z*?S 第二种应该找一下清洗

shenbin	2009-09-19 23:38
清洗？ P?]aWJ 这个清洗的问题吗？

0558	2009-10-03 11:36
第二种情况是表面灰,应该注意环境方面和镀膜机的清洁

shenbin	2009-10-03 18:15
表面有灰不是应该是突起的吗？

huoshan521	2009-10-03 22:29
应该是基板有伤吧！

lukaiyan	2009-10-04 09:08
第一种应该是灰尘引起的或者是飞溅 i^!ez5z 第二种基板或洗净上或药品上考虑一下

c_qun	2009-10-04 17:40
应该是MGF2溅料了

wlinliu	2009-10-05 00:54
清洗太脏了 _:B1_rz7,

shenbin	2009-10-05 02:04
第2中，应该不是MGF2飞溅，飞溅的话表面应该是突起的。

shenbin	2009-10-05 02:05
第2种应该不是飞溅，要不然表面是突起的

ljq2007	2010-05-14 16:41
用了哪些膜料，是否有离子辅助？

shenbin	2010-05-14 21:51
al2o3 mgf2 h4 没有IAD 镀好膜表面看上去一点点很小的亮点点有时很多有时很少

windmark	2011-02-15 16:22
Normal 0 0 2 MicrosoftInternetExplorer4 LN_OD5gZ 不管能不能拔除都是脏污 1]T`n/d V 最好的办法就是镀膜前将底材清洁 U\?g* 顺便将腔体也清洁一下 =4 X]gW

power	2011-02-17 19:14
溅料或是灰尘等杂物，注意腔室卫生和RATE。

zhaozhipeng	2015-04-22 21:31
喷聊了把

meron	2015-05-06 19:36
应该是熔融蒸发料的喷溅点

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