镀膜机抽不动，请达人。急！！！！

此机之前的故障是抽真空只能抽到5.5*10-3帕，然后再抽几个小时都抽不下来一直在5.5*10-3帕左右。之后对该机清洗扩散泵更换泵油，对整个真空室进行彻底清理，更换高筏轴心密封圈，挡板密封圈，公转密封圈。之后再抽真空冷抽可以抽到7.9*10-4帕，扩散泵能抽到1.2*10-4帕，热抽只能抽到3.6*10-3帕就又抽不动了一直在3.6*10-3帕左右好象和之前的情况一样，对多个可能漏气的地方我都进行了捡漏可是都没有发现有漏的地方，实在是搞不明白。请那位高手指点指点，在此谢过！我的电话是0757-81694529 。

dcjlcm	2009-09-12 00:30
另本机是成都真空机械厂的1100光控

lukaiyan	2009-10-04 09:31
还是有漏气啊，再查找

wlinliu	2009-10-05 01:00
一般这种情况会是漏气，要么就是真空炉内有水气或油迹

yaocs633	2009-10-07 19:49
真空漏气继续找 Wfc~"GQq4

苏州膜头	2010-02-15 22:25
首先查看扩散泵油温，油量，油质。 =1 S%E 如果没问题就关机，过一晚，看看第2天的真空度能否保持在50帕以内不行就检漏吧，电子枪，温控探头，通光窗口等重点检查。

27676995	2010-04-24 23:58
检漏查看扩散泵烘烤丝在看看你的温度测环用比较真空计检查真空计包括高真空规管都OK了的话再换油先烧油10小时以上不停抽到5.5 充气再抽到正常为止！不能正常的话再拆泵检查扩散泵找找扩散泵原理的资料 1.2.3级排气有啥问题！有问题的话能加工修复最好没问题换泵南光的泵不怎么地呵呵就是麻烦

苏州膜头	2010-04-25 22:28
楼主问题解觉了吧？ F=#V/ #ia 回一个吧，交流交流。。。。

朱小朱	2010-05-08 11:14
继续查找看看

dcjlcm	2010-07-23 02:19
谢谢解决了

dcjlcm	2010-07-23 02:20
原来是坩埚密封圈有问题

小韩同学	2010-08-03 13:00
学习了！

09njtpw	2010-08-04 08:10
小弟我也来学学

平几

2010-08-23 10:05

引用第6楼27676995于2010-04-24 23:58发表的 : ;B[(~LCyT
检漏查看扩散泵烘烤丝在看看你的温度测环用比较真空计检查真空计包括高真空规管都OK了的话再换油先烧油10小时以上不停抽到5.5 充气再抽到正常为止！不能正常的话再拆泵检查扩散泵找找扩散泵原理的资料 1.2.3级排气有啥问题！有问题的话能加工修复最好没问题换泵南光的泵不怎么地呵呵就是麻烦 N2duhI6

这个专业，楼主照做，胆大心细，没问题

平几	2010-08-23 10:06
引用第10楼dcjlcm于2010-07-23 02:20发表的 : bE'{zU}o 原来是坩埚密封圈有问题 OWT%XUW= PM#3N2?\|E 果然还是漏气！！！

朱小朱	2010-09-08 11:03
应该继续查漏点

runhuazheng	2010-09-19 21:33
怎么解决的上来回个话啊

wqc1987	2010-09-20 13:30
真空检测设备出现问题清理或更换

lm93	2010-10-02 05:23
xiexie

zhaozhipeng	2015-04-22 21:33
用检漏仪简陋

知识乞丐	2016-07-16 12:16
高筏轴心密封圈

知识乞丐	2016-09-17 21:03
不错啊多谢楼主分享

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