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镀膜机真空故障问题排除
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dushuren
2009-08-22 21:41
镀膜机真空故障问题排除
我是新手提的问题不是那么准确。希望大家给予指正！！！
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既然是讨论，那么我提的问题是：
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在进入高真空以前时间短，抽速也很快。进入高真空以后开烘烤，抽速特慢，要达到6.5E-3可能总的要2个半小时以上。
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对这个问题大家说点经验吧！！！
1985120
2009-08-26 21:29
请问你的机器是什么型号啊，抽的也太慢了啊！！！！！！！！！！
dushuren
2009-08-27 09:21
谢谢支持，机器是蓝光1100型，双扩散泵的
1985120
2009-08-27 11:25
不好意思蓝光1100我怎么没听过啊。可能是我见识太浅了。蓝光是公司吗？不过两个扩散泵不可能抽这么慢，十有八九是漏气了。
ruobing
2009-09-01 23:38
温度是会影响气压的，温度升高气压增加，PV=nRT 比如温度从100抽到200 压强也会加倍，当然是在没抽的情况下
dushuren
2009-09-02 11:08
谢谢大家的意见，现经过处理加热系统虽然问题的本质没有解决，但是可以在1小时搞定
evact
2010-01-28 13:52
是南光的镀膜机吧...
beiju2010
2010-02-04 13:04
应该是南光的镀膜机吧...
苏州膜头
2010-02-19 20:22
查扩散泵，真空室检漏吧。
27676995
2010-04-24 23:47
检漏 NG的话 哥们换油吧
朱小朱
2010-05-08 11:16
还是要检漏的
QpC,komLJ
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wcq1818
2010-05-14 22:49
进入高真空后是会抽得比较慢,但你这个也太慢了吧.
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