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dingjie 2009-07-30 14:13

单点模厚换算

想请教各位高手一个问题，镀1490中心波长的单点增透膜SIO2、ZRO2、SIO2其中第一层是打底，它们的厚度分别是103.7——67.5——125纳米做单位。我把厚度代入公式结果跟实际的相差很大。有哪位高手会算请把换算公式列出来并把厚度带进去，交流一下，好对比我错在哪里！ RIQ-mpg~(k  
dingjie 2009-07-30 14:14
上面有错最后一层是325NM，不好意思！
yzhuang 2009-08-01 11:03
膜系是可以的,换算是没有固定公式可言的,每台机器都可能不一样,需要你自己进行修正,最简单的办法就是镀奇数个1/4中心波长的单层膜,记下晶控仪显示膜厚,然后用测量仪器测出实际的中心波长,再用软件模拟一下,实际厚度多少,实际厚度与晶控仪显示厚度之间的比例关系就是你要记住的本台机器的一个换算参数
0558 2009-10-03 11:55
先把TOOLING值找出
天命 2009-12-17 16:02
膜系是可以的,换算是没有固定公式可言的,每台机器都可能不一样,需要你自己进行修正,最简单的办法就是镀奇数个1/4中心波长的单层膜,记下晶控仪显示膜厚,然后用测量仪器测出实际的中心波长,再用软件模拟一下,实际厚度多少,实际厚度与晶控仪显示厚度之间的比例关系就是你要记住的本台机器的一个换算参数 YA@MLZm  
这个方法是正确的，也是最容易的
拉比熊 2013-01-14 20:20
就是先做单层膜
摆脱你的烦恼 2013-03-18 19:49
好东西。。。
scenery 2013-08-03 08:51
;DSH$'1i  
得好好学学！！！！
yuliang-518 2013-08-19 05:31
只能模拟对
503749868 2013-08-21 19:27
好好学习
rexchou 2016-04-21 17:27
差異在實際值與設計值之誤差值(tooling)。 N2k<W?wQ  
#bBh. ^  
算換單點膜厚套入公式，公式如下 YGC%j  
-uWV( ,|  
nd=1*中心波長/4 (n=折射率、d=物理厚度、中心波長)。 .b+ix=:  
O^3kPVr  
4uzMO<  
                                                                                 ~uH_y-  
                                                                                                           來自台灣澤米的SiO2王  筆
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