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2009-07-29 11:39 |
上海EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
SCI美国科学计算国际公司 6Cd% @Q2cr 薄膜测量 软件产品 及 仪器产品 j^'op|l 网址:www.sci-soft.com ;OynkZs) \<K@t=/
6 SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具. yYM_ A) 薄膜测量/测试 软件 r^|AiYI) ({_Dg43O'[ 一.FilmWizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件) ^+20e3 ~Y Design设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏 ^%pM$3ov 二.FilmMonitor(Monitor Deposition Software监视沉积软件) 4tv}V:EO 三.FilmEllipse(椭偏数据生产线工艺软件包) <"Cacfg FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包 V"{+cPBO) 251^>x.R B) 薄膜测量 仪器 NWq>Z!x` }^np SCI FilmTek 系列, 可测量:\+_Nq~ ee|i 2po>%Cp Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\ sHSD`mYq Maximum Spectral Range 最大光谱范围##b {2Jn#&Z29 Standard Spectral Range标准光谱范围F >uN)O- Reflection反射测量, #A '|O\RGP Transmission透射测量5wIBS\ Ow\dk^\-G8 Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY & | |