| sbisna |
2009-07-29 11:39 |
上海EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
SCI美国科学计算国际公司 vb[0H{TT2
薄膜测量 软件产品 及 仪器产品 yP7b))AW9
网址:www.sci-soft.com z%E( o%l8
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SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具. x\'3UKQP+^
A) 薄膜测量/测试 软件 wn@~80)$
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一.FilmWizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件) l :{q I#Q
Design设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏 \lG) J0
二.FilmMonitor(Monitor Deposition Software监视沉积软件) lW5Lwy t8
三.FilmEllipse(椭偏数据生产线工艺软件包) WOn< JCh]
FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包 ]) {ZL
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B) 薄膜测量 仪器 oh-EEo4,
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SCI FilmTek 系列, 可测量:\+_Nq~ __eB 7]#E
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Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\ .nZKy't
Maximum Spectral Range 最大光谱范围##b |= cc >]
Standard Spectral Range标准光谱范围F PESvx>:
Reflection反射测量, !D F~]&
Transmission透射测量5wIBS\ E
G+/2o+W
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY d-b<_k{p
Power Spectral Density功率谱密度测量a "Bwz
Fh
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y U%pB
Both TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p] zgz!"knVx
Index of Refraction折射系数测量~c=]o% a& 0g0n6
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数:{P]F Ej)7[
Energy band gap能量带隙测量U4r[n vv&< 7[
Composition成分测量c*'nh) 4`"}0:t.
Crystallinity晶状测量DTE; }' tJc $!
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF |=ph&9
Surface Roughness表面粗糙度测量L" Y=|p}>.}
etc. 等等 x2t&Wpvt
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Typical applications典型应用:P lx4p T w1
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OLED有机发光二级管薄膜 |hj!NhBe
Flat panel display平板显示器薄膜 r'y N c&~
Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜 ZHjL8Iq
Computer disks计算机磁盘薄膜 N$e
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Multilayer optical coatings多层光学涂层薄 OU.}H $x"
Coated glass有涂层的玻璃薄膜>nU3 hDTC~~J/
Optical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜 G=[<KtWa
Laser mirrors激光镜薄膜Op)` @@^iN~uf
Electro-optical materials电镀光学材料薄膜 0ZwXuq
Thin Metals薄金属薄膜6e4,iC 2DPv7\fW
etc. 等等 $365VTh"
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