| sbisna |
2009-07-29 11:39 |
上海EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
SCI美国科学计算国际公司 b:==:d:0s
薄膜测量 软件产品 及 仪器产品 p2vN=[g9)
网址:www.sci-soft.com mU5Ox4>&9
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SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具. D bGS] k<$
A) 薄膜测量/测试 软件 h}O tz "
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一.FilmWizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件) | {9<%Ok4P
Design设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏 ?=1eHnP!R
二.FilmMonitor(Monitor Deposition Software监视沉积软件) l=?e0d>O
三.FilmEllipse(椭偏数据生产线工艺软件包) +,e#uuj$p
FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包 H|% J"
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B) 薄膜测量 仪器 sz9W}&(j
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SCI FilmTek 系列, 可测量:\+_Nq~ \n<!
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Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\ ^Jp T8B}
Maximum Spectral Range 最大光谱范围##b /,\V}`Lx"
Standard Spectral Range标准光谱范围F -S$F\ %
Reflection反射测量, o/pw=R/):
Transmission透射测量5wIBS\ ( b25g !
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY ale'-V)5
Power Spectral Density功率谱密度测量a z; GQnAG@
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y f-%M~:
Both TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p] 2KLMFI.F
Index of Refraction折射系数测量~c=]o% %"WENa/t
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数:{P]F IkCuw./
Energy band gap能量带隙测量U4r[n T^v76 3%
Composition成分测量c*'nh) VLXA6+
Crystallinity晶状测量DTE; / VYT](
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF dl4n -*h
Surface Roughness表面粗糙度测量L" sq|\!T
etc. 等等 h/EIFve
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Typical applications典型应用:P (*S<2HN5
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OLED有机发光二级管薄膜 pGs?Y81
Flat panel display平板显示器薄膜 ciS +.%7
Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜 ~F"S]
Computer disks计算机磁盘薄膜 M9iX_4
Multilayer optical coatings多层光学涂层薄 <h -)zI
Coated glass有涂层的玻璃薄膜>nU3 Uoxl Eec
Optical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜 [F6 )Z[uG
Laser mirrors激光镜薄膜Op)` {4g' ;
Electro-optical materials电镀光学材料薄膜 8~Kq "wrbu
Thin Metals薄金属薄膜6e4,iC e bBi zc=
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