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lywfeng 2009-07-09 22:54

关于阻蒸过程中膜料溢出的问题

最近在蒸发YbF3过程中，不定时的出现膜料从蒸发舟溢出现象，并因此导致零件表面出现材料点，使合格率下降。膜料溢出后导致膜层表面出现材料点的问题虽然有据可查，但为何膜料会从蒸发舟中溢出却一直未排查出原因。 M]vc W  
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敬请高手指教
lywfeng 2009-07-12 22:55
急需解决此工艺问题，哪位大侠帮帮忙啊
caoguoyin 2009-07-12 23:00
查查你的阻蒸功率工艺是否稳定吧
lywfeng 2009-07-13 22:38
应该不是阻蒸功率的问题，用阻蒸的时候向来都是自动程序配合手动控制，此问题都是出现在同一膜料YbF3上，且发生时间不具备习惯性，目前没有发现规律
damao 2009-11-12 14:05
这好像是个普遍问题吧，需要在工艺上想办法吧
dede 2012-05-09 00:38
蒸发舟中溢出？能否加个盖子
冰雨8788 2012-09-19 15:01
我们前期用蒸法舟镀Al时，溢出也较严重
ru777rr 2012-09-20 17:27
可以換廠商試試看
a060103112 2013-02-27 12:40
加电流一定要稳定均匀，如果是手动镀膜的话，必须找熟手
clark007 2013-05-30 13:36
是啊，我也碰到这个问题，大家还有什么经验？
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