| sbisna |
2009-06-22 18:38 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 Dwbt^{N ^
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， l % 0c{E~
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 `6FH@" |I
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 {Z_?7J&z
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 .gs:.X)TG9
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. 4#&w -W
1.多层厚度（1? 到 250 microns） #m 6 W7_
2.折射率n H|I .h{:
3.吸收系数k .-?T xkwb
4.双折射率 Ji e=/:&
5.能隙（Eg） J5L[)Gd)D
6.表面粗糙度和损伤 %~E Oq\&
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
3dB{DuQ
8.薄膜温度特性 |TRl >1rv
9.晶元曲率和薄膜耐压性 sL4+O P-
技术参数 2bt).gGm
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns jVInTR0f[
2. 重复性： ± 0°（△） 7z9[\]tt
3. 折射率精度： ± 2*10-5 oA `G\Xh_E
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） miEf<<L#z
5. 入射角: 0°（70°可选） ZeE(gtM
6. 测试速度： 小于 15 s Ch7&9NW
7. 光斑直径： 小于 50 nm 1( vcM
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 +1> \o|RF
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： |3dIq=~1"Y
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 CW'<N h
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com 6T-i BJT
SCI 网址：http://www.sci-soft.com F ,h}HlU
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