| sbisna |
2009-06-22 18:38 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 nl.~^CP
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， Mr#oT?
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 fma tc#G
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 ^)(G(=-Rf
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 K]*g , s+
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. V<
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1.多层厚度（1? 到 250 microns） V]+o)A$
2.折射率n v$q pcu#o
3.吸收系数k {vf+sf ^^q
4.双折射率 eUz U] 6h
5.能隙（Eg） 6z1aG9G
6.表面粗糙度和损伤 K<Yn_G
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） ~ra#UG\Y8
8.薄膜温度特性 /h{go]&Nb
9.晶元曲率和薄膜耐压性 d#X&Fi
技术参数 =d:R/ Z%,
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns ~e,f )?
2. 重复性： ± 0°（△） Ah(\%35&
3. 折射率精度： ± 2*10-5 dj 8F6\
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） b'1/cY/!
5. 入射角: 0°（70°可选） ?CcR
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6. 测试速度： 小于 15 s ,%"\\#3S
7. 光斑直径： 小于 50 nm /1 [}G !
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 'LtgA|c=
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： k ~'?" '
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 ~(w=U *
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Hsd|ka$x>
SCI 网址：http://www.sci-soft.com k)<~nc -
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