| sbisna |
2009-06-22 18:38 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 ]*M VVzF
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， S)$)AN<O
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 ._ 6|epJ#
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 QR.] ?t;1
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 l"C)Ia&/
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. ;Q1/53Y<
1.多层厚度（1? 到 250 microns） A6 D@#(D
2.折射率n myR}~Cj;q
3.吸收系数k 6 4fB$
4.双折射率 H{XD> q.
5.能隙（Eg） lZt{L0
6.表面粗糙度和损伤 `egyk)"aM
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） ~h:/9q
8.薄膜温度特性 Po~ u-5
9.晶元曲率和薄膜耐压性 {J?#KHF'|
技术参数 ggy 7p44
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns 1L4-hYtCj
2. 重复性： ± 0°（△） 2tEA8F~k
3. 折射率精度： ± 2*10-5 b <1k$0J 6
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） 6v]y\+
5. 入射角: 0°（70°可选） !6yyX}%o
6. 测试速度： 小于 15 s SWrt 4G
7. 光斑直径： 小于 50 nm Q# ,j ,h
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 ,{pC 1A@s
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： o#X=1us
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 SEL7,8 Hm
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com pE^j Uxk6
SCI 网址：http://www.sci-soft.com kW
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