| sbisna |
2009-06-22 18:38 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 Lov.E3S6;
^/%o%J& Hz
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， AU\xNF 3
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 Krp
<bK6
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 K#l
-?
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 yp[<9%Fi
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. zL)1^[%O9
1.多层厚度（1? 到 250 microns） S om.
qD
2.折射率n +Q SxYV
3.吸收系数k yhSk"e'G
4.双折射率 s<Ex" +
5.能隙（Eg） &?/N}g@K
6.表面粗糙度和损伤 >J^7}J
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
ko=aa5c
8.薄膜温度特性 hF{x')(#l
9.晶元曲率和薄膜耐压性 ;}n9y ci#
技术参数 7 9{.O`v
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns o%V
@D'w
2. 重复性： ± 0°（△） vs\'1^*D
3. 折射率精度： ± 2*10-5 <pTQpU
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） ch0oFc$
5. 入射角: 0°（70°可选） xta}4:d-Y
6. 测试速度： 小于 15 s .Bb$ j=
7. 光斑直径： 小于 50 nm Q$xa
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 <[Tq7cO0
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： wO^$!zB W
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 KjF Z
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com >W`S(a Mn
SCI 网址：http://www.sci-soft.com :"M9*XeHO
|
|