| sbisna |
2009-06-22 18:38 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 Wj=ex3K3u.
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， G@!9 )v]9
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 A_|FsQ6$P
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 y visoZX
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 n`Iy7X
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. h18y?e7MU
1.多层厚度（1? 到 250 microns） tgA
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2.折射率n yE,o~O
3.吸收系数k :ygz/L
4.双折射率 ++"PPbOe&D
5.能隙（Eg） ?}
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6.表面粗糙度和损伤 C~V$G}mM
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） j!7Uj ]
8.薄膜温度特性 z1s"C[W2T
9.晶元曲率和薄膜耐压性 v ed
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技术参数 <U pjAuG8
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns AB\4+ CLV
2. 重复性： ± 0°（△） uI&M|u:nT
3. 折射率精度： ± 2*10-5 mP[u [ | ]
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） !#qB%E]a
5. 入射角: 0°（70°可选） 6J+ZeBk??
6. 测试速度： 小于 15 s $u"$mg7x
7. 光斑直径： 小于 50 nm :XZ
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应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 TeqsP1{?
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： nB0 ol-<
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 N@0scfO6<
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com h
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SCI 网址：http://www.sci-soft.com *$D-6}Oay
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