| sbisna |
2009-06-22 18:38 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 _l=
wP0+X v,
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， / +`<X%^U
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 mS}x2 &
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 '2$!thm
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 hyfnIb@~}
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. =L),V~b
1.多层厚度（1? 到 250 microns） S!W/K!wf
2.折射率n r Ob "S*
3.吸收系数k {FY[|:Cp
4.双折射率 +JS/Z5dl+}
5.能隙（Eg） xcvr D
6.表面粗糙度和损伤 lV6[d8P
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） fR%1FXpK&
8.薄膜温度特性 %`1CE\f
9.晶元曲率和薄膜耐压性 1 3 `0d
技术参数 0(/D|
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns {V% O4/
2. 重复性： ± 0°（△） g^ $ 11
3. 折射率精度： ± 2*10-5 ,]_(-tyN|
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） G? gXK W
5. 入射角: 0°（70°可选） E+ 3yN\X(
6. 测试速度： 小于 15 s auTT v J
7. 光斑直径： 小于 50 nm x>,F*3d3
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 _pko]F|()
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： s~X*U&}5
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 I
cR;A\z
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Dnm.!L8
SCI 网址：http://www.sci-soft.com 66@3$P%1p
|
|