膜系设计相关问题

各位同行大哥大姐，小弟这有一个膜系设计的问题想请教大家。

我在膜系设计时开始没有考虑到设计TOOLING。设计并优化了膜系。光谱符合我们的要求。加上设计TOOLING后就不行了。我想请教各位:tooling 是1 的时候和不是1，比如是1.27(TI3O5)时它们之间有没有一个换算关系.

小弟不才.H层和L 层TOOLING 不是1 的时候我很难控制它的中心波长.

拜托各位了.小弟再次谢过了.

我的邮箱:fang198112042001@163.com

birdy	2005-07-28 20:09
你用的是什么软件？TOOLING是什么上的tooling,是厚度控制上的吗？一般都是正比例关系，或者直接就是乘积的关系，具体的关系，相应的软件说明里应该有的

lawsonfang

2005-07-30 15:05

是软件里面的设计TOOLING。比如H层（TI3O5）为1.21,L层（SIO2）为1.102.它的这个TOOLING 是我们测3。1算出来的。通常都不会是1。
但我们在设计的时候算设计波长是：根据g的半宽和我们所要求的中心波长来算的。如果TOOLING不是1的话。所算出来的设计波长就不准了。
我想知道我们可不可以先用TOOLING是1来设计。等设计好了之后再用一个公式什么的来转换呢。
非常感谢~~~！！！
再次谢谢~~！！！！

flyinlove79	2005-08-01 18:18
可以先把tongling定为1.这个应该是相乘的关系，一般的软体都把tooling 的默认值设置为1，然后自己在根据自己的设备情况进行调整。

flyinlove79	2005-08-01 18:19
楼主用的是什么软件？

lawsonfang	2005-08-01 21:06
谢谢各位了。。我回家里试过了。也还可以。。呵呵。。

kevin980828	2005-08-28 23:05
请问TOOLING是啥意思?

birdy	2005-08-29 00:32
其实就是一个比例系数啊。在这里就是实际厚度和理论厚度的比值。

dzk999

2006-02-22 22:02

是不是膜厚控制的tooling啊？如果是，对于同一个蒸发源，一般的不同材料tooling差别不大啊。
如果楼主成膜时H、L材料使用不同的蒸发源，建议将两个蒸发源的tooling调成一样。
无论怎样，设计是也是可以按照理想状态设计的，只不过镀膜程式要随需变化。遇到搂住的情况，在下觉得问题不在设计，而应该考虑设备方面的问题。

sunkexian	2007-07-22 14:29
好呀我来了又

yufe16	2007-07-23 23:05
初始ＴＯＯＬＩＮＧ怎么计算啊？

维他命	2008-09-05 17:29
斑竹,知道答案给解释一下,我也很想知道,大家一起分享. {gJOc,U4b 谢谢!!!

xiezhizhi	2008-09-25 20:11
斑竹我的机器是南光机带晶控的不过机器的系数一直不稳定请问你们是用什么方法做机器的系数

393590413	2011-11-03 19:07
就是修正系数的意思，把实际测量厚度/设定厚度（基片厚度）。

12511895	2011-11-03 21:15
我有点不明啊!! T6{IuQjXs

知识乞丐	2016-09-25 10:47
多谢共享资料好东

囊中蓄乾坤	2016-10-10 12:30
学习了，谢谢分享

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