| sbisna |
2009-04-27 12:36 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 c ( f
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， 'A=^S e`=
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 ~|D Ut
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 A7Cm5>Y _S
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 $u6"*|
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. #1A.?p
1.多层厚度（1? 到 250 microns） lwxaMjaL4K
2.折射率n })H wh ).
3.吸收系数k ~k-y &<UR
4.双折射率 8+Lm's=W*
5.能隙（Eg） + /4A
6.表面粗糙度和损伤 @ p 9i
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） eH'av}
8.薄膜温度特性 MIeU,KT#U
9.晶元曲率和薄膜耐压性 z3{ G9Np
技术参数 kr ^P6}'
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns B-Ll{k^
2. 重复性： ± 0°（△） L:$ ,v^2
3. 折射率精度： ± 2*10-5 7J D' )
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） zJKv'>?
5. 入射角: 0°（70°可选） L~(j3D*
3
6. 测试速度： 小于 15 s A_"w^E{P
7. 光斑直径： 小于 50 nm q<x/Ha t)
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 Hs;4lSyUO
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： W@M:a
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 im hwY #D
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com
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SCI 网址：http://www.sci-soft.com pTth}JM>
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