| sbisna |
2009-04-27 12:36 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 =_@) KWeX$
L=HnVgBs
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， 2cGiE{
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 3a ZS1]/
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 +7_U( |gO
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 &U}8@;
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. OqF8KJnO;
1.多层厚度（1? 到 250 microns） R@_3?Z!W=
2.折射率n ,D<U PtPQ
3.吸收系数k gnxD'1_
4.双折射率 XsFzSm
5.能隙（Eg） yxf #@Je"
6.表面粗糙度和损伤 Nvh& =%{g
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） cF9oo%3
8.薄膜温度特性 L=C#E0{i
9.晶元曲率和薄膜耐压性 GY0OVAW6'c
技术参数 '(N(k@>{
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns o> Dd1
j
2. 重复性： ± 0°（△） MOp "kA
3. 折射率精度： ± 2*10-5 oEFo7X`t
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） & 2q<#b
5. 入射角: 0°（70°可选） J}#2Wy^{
6. 测试速度： 小于 15 s #
kNp);
7. 光斑直径： 小于 50 nm r{S DJa
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 =]pEvj9o
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： 8xh x*A
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 Ss\?SEq
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com h5-yhG
SCI 网址：http://www.sci-soft.com h9iQn<lp4.
|
|