| sbisna |
2009-04-27 12:36 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 2c,w
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， bLg gh]Fh
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 ls "Z4v(L6
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 I#F,
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 +Z9 ua%,3%
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. D+BflI~9mP
1.多层厚度（1? 到 250 microns） m*e8j[w#
2.折射率n )DW".c
3.吸收系数k s }^W2
4.双折射率 kmJ<AnK
5.能隙（Eg） Q\^B OdX^`
6.表面粗糙度和损伤 'o8,XBv-
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） 2fm6G).m
8.薄膜温度特性 2C_I3S ~U
9.晶元曲率和薄膜耐压性 Qc
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技术参数 c!$~_?]
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns >G0ihhVt
2. 重复性： ± 0°（△） >^f]Lgp
3. 折射率精度： ± 2*10-5 ? a?]
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4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） MA 6u JT
5. 入射角: 0°（70°可选） c)Q OgXv
6. 测试速度： 小于 15 s #\}xy PS
7. 光斑直径： 小于 50 nm WK SWOSJ
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 #KL W&A
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： !?B2 OE
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 Nc(A5*
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com 4
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SCI 网址：http://www.sci-soft.com |z) 7XK
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