| sbisna |
2009-04-27 12:36 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 5;m RGY
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， H\E 7o" m
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 i@5 )` <?
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 D9BQID$R
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 : "<e0wDu[
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. +~Tu0?{Z 0
1.多层厚度（1? 到 250 microns） D `pQ7
2.折射率n :g2
}C
3.吸收系数k uvnI>gv
4.双折射率 byGn,m
5.能隙（Eg） zrRFn ` B
6.表面粗糙度和损伤 j13DJ.xu
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
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6
8.薄膜温度特性 6Ps.E
9.晶元曲率和薄膜耐压性 +;Cr];b3
技术参数 "uKFOV?j&
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns sN~ \+_
2. 重复性： ± 0°（△） nPFwPk8=M
3. 折射率精度： ± 2*10-5 6e&$l-
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） D!F 2 l_
5. 入射角: 0°（70°可选） ^m! _ 2_q
6. 测试速度： 小于 15 s sw;|'N$:<
7. 光斑直径： 小于 50 nm q .J sf+
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 # HAC*n
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： 8{0k0 &x
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 lpgd#vr
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com w 0w1PE-V=
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