| sbisna |
2009-04-27 12:36 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 vEQ< A<[Z
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， /=?ETth @
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 YK{a
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 Iak0 [6Ey
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 %PJhy 2
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. dGwszziuK
1.多层厚度（1? 到 250 microns） bAr` E
2.折射率n Y RlDX:oX~
3.吸收系数k ^nV l (^{
4.双折射率 Y\2|x*KwvF
5.能隙（Eg） ESb
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6.表面粗糙度和损伤 $ j)hNWI
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
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8.薄膜温度特性 /(t sb
9.晶元曲率和薄膜耐压性 mKq" 3 4F
技术参数 =l<iI*J.
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1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns Q+ i\8RJ
2. 重复性： ± 0°（△） c<+;4z
3. 折射率精度： ± 2*10-5 nT#JOmv
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） H(Ms^8Vs~:
5. 入射角: 0°（70°可选） P NSMcakD
6. 测试速度： 小于 15 s u&QKwD Uh
7. 光斑直径： 小于 50 nm GD-&_ 6a
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 ) gR=<oa
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： mCKk*5ws5"
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 q 6`G I6
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com #t!}K_
SCI 网址：http://www.sci-soft.com dPjhq(8 zU
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