| sbisna |
2009-04-27 12:36 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 Ecl 7=-y
tZBE& :l
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， PaI63 !
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 >33b@)
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 <EN[s
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 (2\ek ct ^
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. YZtA:>;p
1.多层厚度（1? 到 250 microns） [ Zqg"`
2.折射率n 0YRYCO$
3.吸收系数k ]x{ H
4.双折射率 :< 3;7R'5
5.能隙（Eg） (S 3kP5:F
6.表面粗糙度和损伤 E1Aa2
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） Jj!tRZT
8.薄膜温度特性 < 1%XN
9.晶元曲率和薄膜耐压性 NbMH@6%E
技术参数 8 r|
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns Pw{{+PBu R
2. 重复性： ± 0°（△） t4W0~7
3. 折射率精度： ± 2*10-5 | 2` $g
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） Z" nuO\zH~
5. 入射角: 0°（70°可选） A/6nV n
6. 测试速度： 小于 15 s 0~5}F^8[L
7. 光斑直径： 小于 50 nm aL6 5t\2
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 %ycT}Lu
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： j`M<M[C*4N
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 wm [d5A4
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com } j@@
SCI 网址：http://www.sci-soft.com &
b2(Y4
|
|