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光学薄膜设计,工艺与设备
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膜系设计中TOOLING是什么？怎么算？
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jakky
2009-03-10 17:02
膜系设计中TOOLING是什么？怎么算？
求各位大哥,有没有人知道膜系设计中TOOLING是什么东东？怎么算？
zll0605
2009-03-13 14:27
我所理解的是模拟的与自己操作机器做出来的比值。不知道对不对！
jakky
2009-03-13 14:50
成膜时,进行实际控制的是比较片,但基板因为和比较片位置不同,实际膜厚有较大出入,所以在设计中引入了TOOLING工具因子这个东西.
,|c;x1|O
现在麻烦的是不知道这个东西该怎么算出来
081023
2009-03-17 23:32
实际就是一个修正值。不同的设备、比较片与零件的位置、膜料的厂家不同、工艺参数等都会影响这个值的变化。是通过在每台设备实际做后得到的一个经验值。
wuya02109
2009-08-07 19:55
修正值。
dushuren
2009-08-19 22:33
谢谢指教
gaoxt
2009-08-20 07:18
修正值,比较片与零件的位置相对蒸发源是不同的
ttndleaqpy
2009-10-25 13:40
tooling value = 實際厚度 / 設定厚度
wangqw
2010-01-15 20:35
7楼说得对
suninrain
2010-01-23 17:22
可以说是晶振膜厚/基片膜厚，，或者是光控片膜厚/基片膜厚
知识乞丐
2016-09-25 11:02
多谢共享资料 好东西
morningtech
2016-09-29 15:50
Tooling = 样品厚度值/监控片厚度值
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上海膜林科技有限公司，专业膜厚控制仪研制厂商
囊中蓄乾坤
2016-10-10 12:46
7楼正解
pyykun
2018-02-27 11:55
谢谢大声们的指教！
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