| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
Hz } 6XS@
gHLBtl/
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 D{&0r.2F
zDbjWd
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， D@V1}/$UoN
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 %-y%Q.;k ?
1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 sE4= 2 p`x
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 S~QL
x
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. =_%i5]89P
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） Th&*
d;
2.折射率n yv:8= .r}M
3.吸收系数k /P~@__XN
4.双折射率 7Vf2Qx1_
5.能隙（Eg） ceakTA B[
6.表面粗糙度和损伤 -9XB.)\#
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） Lw
7,[?, Z
8.薄膜温度特性 xkIRI1*!
9.晶元曲率和薄膜耐压性 Vy-EY*r|
技术参数 2\flTO2Ny
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns &UhI1mi]h
2. 重复性： ± 0°（△） 3:Aw.-,i\
3. 折射率精度： ± 2*10-5 HH>"J /;c,
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ）
~Qzb<^9]
5. 入射角: 0°（70°可选） sh []OSM
6. 测试速度： 小于 15 s ;2||g8'
7. 光斑直径： 小于 50 nm ,EyZ2` |
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 HS{a^c%
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： :` >|N| i
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 (9_~R^='y
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com {shf\pm!o
SCI 网址：http://www.sci-soft.com MS~c
$
|
|