| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
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.u EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 :(A&8<}-6 NA0nF8ek 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, }<^mUG 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 Eiu/p&ct 1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 KA?}o^-F 应用实例,目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 gxl7jY 2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. 0#WN2f, <: 1.多层厚度(1Å 到 250 microns) -FJ3;fP& 2.折射率n _{jC?rzb 3.吸收系数k ]AYP\\Xi 4.双折射率 1'o[9- 5.能隙(Eg) ;M.Q=#;E 6.表面粗糙度和损伤 t1w]L 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) o-@01_j 8.薄膜温度特性 IB;yL/T 9.晶元曲率和薄膜耐压性 }[akj8U 技术参数 @*y4uI6& 1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns e6taQz@} 2. 重复性: ± 0°(△) v":q_w<k 3. 折射率精度: ± 2*10-5 :GIBB=D9 4. 光谱范围: 380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) [\W& 5. 入射角: 0°(70°可选) %'1iT!g8 6. 测试速度: 小于 15 s N~,Ipf 7. 光斑直径: 小于 50 nm Rt?CE jy 应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 (}39f 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: a>OYJe 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 )7
Mss/2T 邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com vQ}ZfP SCI 网址:http://www.sci-soft.com 7Vy_Cec1
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