| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
IJ&Lk=2E]
#|ts1lD#ah
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 (^35cj{s
^S 3G%{"
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， Gk{ ' U
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 mmbe.$73
1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 l)vC=V6MG
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 C@6:uiT$
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. @b,H'WvhfS
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） N.vWZ7l8
2.折射率n J?w_DQa
3.吸收系数k }q`9U !v
4.双折射率 s`_EkFw>Gl
5.能隙（Eg） Q $ }#&
6.表面粗糙度和损伤 aWIkp5BFj
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） _i}b]xfM
8.薄膜温度特性 6qHD&bv\%C
9.晶元曲率和薄膜耐压性 X7huc *
技术参数 r=5 S0
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns j*<J&/luYZ
2. 重复性： ± 0°（△） hH N[K
3. 折射率精度： ± 2*10-5 | J3'#7
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） \Q|-Npw
5. 入射角: 0°（70°可选） 3e&+[j
6. 测试速度： 小于 15 s `P; r[j"
7. 光斑直径： 小于 50 nm J)>DsQ+Cj
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 B=TUZ)
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： ID2 ->J
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 %-blx)Pc
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Y2x|6{ #
SCI 网址：http://www.sci-soft.com bE/|&8
|
|