| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 u.yYE,9
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， -%fc)y&$
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 Xsk/U++
1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 @`mr|-Rp@
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 V36u%zdX5n
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. vzX%x ul
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） JU Xo3D~
2.折射率n P*|qbY
3.吸收系数k hKVb#|$
4.双折射率 jXPf}{^
5.能隙（Eg） @[LM8 @:
6.表面粗糙度和损伤 :>C D;
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） 4Sz2
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8.薄膜温度特性 \h> 6k
9.晶元曲率和薄膜耐压性 Sq ]VtQ(
技术参数 *j~ObE_y
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns DX0#q #
2. 重复性： ± 0°（△） 5Vc~yMz
3. 折射率精度： ± 2*10-5 c( _R
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4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） t/lQSUip
5. 入射角: 0°（70°可选） V= g u'~
6. 测试速度： 小于 15 s $~e55X'!+
7. 光斑直径： 小于 50 nm 63`5A3rii
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 g-pEt#
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： }wB!Bx2
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 {3T &6 LA
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com }0[<xo>K
SCI 网址：http://www.sci-soft.com A(9$!%#+L
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