| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 9c^EoYpy-
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， J9FNjM[qe
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 ` Y;gMrp
1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 jq]"6/xxb
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 de6dLT>m
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. {t:N D
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） #[W[ |m
2.折射率n &-:yn&f7
3.吸收系数k G7;}309s
4.双折射率 4sQAR6_SW~
5.能隙（Eg） F"H!CJJu&
6.表面粗糙度和损伤 5Nb_K`Vp*
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） PoJ yWC
8.薄膜温度特性 \ Sby(l
9.晶元曲率和薄膜耐压性 55LF
技术参数 UK>=y_FYO
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns P`
F'Nf2U
2. 重复性： ± 0°（△） \#j DQ
3. 折射率精度： ± 2*10-5 d-sh6q5
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） cOZ^huK
5. 入射角: 0°（70°可选） J\ +gd%
6. 测试速度： 小于 15 s PL$F;d
7. 光斑直径： 小于 50 nm PJ@ ,01
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 8VmN? "5v
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： t)Q @sKT6
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 . b`P!
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com 2P _^@g
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