| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
vevx|<9,
JfR k p
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 HN^w'I'bp
pM,#wYL
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， &9k"9
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 ]KzJ u`O%G
1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 % ghJ*iHR
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 9.jG\i
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. [CsM <:C
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） ;\1b{-' l
2.折射率n @RQ+JYQi
3.吸收系数k %jpH:-8'2
4.双折射率 0;'j!`l9
5.能隙（Eg） +)% ,G@-`
6.表面粗糙度和损伤 D_ zcOq9
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） #dL5x{gV=
8.薄膜温度特性 ,CN#c o
9.晶元曲率和薄膜耐压性 zv&eP q\#
技术参数 EC0zH#N
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns 01'y^`\xQ
2. 重复性： ± 0°（△） ]U#JsMS
3. 折射率精度： ± 2*10-5 rGG S]^
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） c,+iU R<
5. 入射角: 0°（70°可选） V, `!rJ
6. 测试速度： 小于 15 s }3LBbG0Bw
7. 光斑直径： 小于 50 nm -Cg`x=G;z
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 LNWqgIq
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： +!D=SnBGs
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 PV5-^ Y"v
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com jt0H5-x
SCI 网址：http://www.sci-soft.com B!$V\Gs
|
|