关于镀膜时的几个问题，谢谢了！

大家好，镀膜新手来求助几个问题，希望同行能多多指导，在此先谢过了。
1.厚度均匀性怎么测或计算得到的。一般来说，除了直接测量薄膜的厚度外，通过透射光谱如何计算出薄膜的厚度均匀性？
2.镀膜机的真空系统。对800的电子束蒸发镀膜机，机械泵+扩散泵与机械泵+罗茨泵+扩散泵有什么区别？
3. 国产的镀膜机，河南中光学的镀膜机如何？

zubing	2009-04-28 09:37
我的建议：２.加罗茨泵在抽低真空时要快的多， z(#dL>d$' 　　　　　３.口碑不是很好，不过要你亲自试用下为好

yls	2009-05-10 13:52
罗茨泵没有意义，想快点弄双泵的。

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