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oudexu	2009-01-06 20:48
关于沉积速率调整的一个问题请教大家一个问题 cH4PrMm& 假如要降低镀膜的沉积速度，把靶基距调大或减小靶的溅射率，它们的效果一样吗？比如镀出来的膜的折射率，消光系数，薄膜的晶体结构等有什么差别吗？ Y"r728T`K 机器：离子溅射

timberwolf	2009-03-25 10:29
当然不一样。膜层的附着力、应力和均匀性都效果不同。就看你的要求了。

renlgj	2024-08-22 22:36
跟着学习了

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