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melody9566 2009-01-01 22:59

磁控溅射镀膜的话,怎么计算薄膜的掺杂浓度?

对镀制的金属陶瓷膜(磁控溅射法,金属靶和陶瓷靶共溅射),有哪些方法可以计算出薄膜的掺杂浓度?
fineday36 2009-02-13 21:22
EDX,EMPA
fineday36 2009-02-13 21:22
EDS,EMPA,SORRY,方法很多
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