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oudexu	2008-12-21 15:26
关于波长控制的一个话题请教大家一个问题，机器离子溅射，在控制波长方面，以往是调节试样镜片到靶的距离就行了，而且非常敏感。最近几次调了很多距离也不见波长有变化。请问造成这种情况有哪些可能呢？ V=+wsc 膜厚控制为光学极值法。

yzhuang	2008-12-21 21:51
第一次听说这样调节的,我们调节的一般是单色仪的输出波长,基片位置是不动的,补充一下,我的是真空蒸镀

oudexu	2008-12-22 20:04
老式设备嘛 o'hwyXy/S 我们机器镀膜和测波长是分开的

oudexu	2008-12-22 20:10
我们机器是老式设备 Xb'UsQ 镀膜和波长检测是分开的

9603128	2009-03-04 22:19
我是第一次听说这样调节的,我们调节的一般是单色仪的输出波长,基片位置是不动的,补充一下,我的是真空蒸镀，不应当有这种情况的

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