| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 JXk x!X_{
技术参数： 2"a%%fv
1. X,Y,Z移动距离分别为: lU
Zj
X向: ±7.5mm w)S 4X i=
Y向: ±9 mm k0I$x:c
Z向: ±10 mm |Tmug X7
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; 3O*iv{-&
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 bQI :N
0.005 jbe:"S tw
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 Wx3DWY;
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° dkEbP*y Xg
[attachment=15109] L' 'VBY"?
8g{Mv#b %
[attachment=15110] CZ] Dm4
WLU_t65
[attachment=15111]
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