| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 vsFRWpq
技术参数： 8Xo`S<8VS
1. X,Y,Z移动距离分别为: `EFPY$9`D
X向: ±7.5mm CqF= 5z:A
Y向: ±9 mm $x%3 ^{G
Z向: ±10 mm X?3? R\/
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; [xaglZ9HNo
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 l8O12
0.005 B Q) 1)8r
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 R9dC$Y]\M
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° e+_~a8 -|
[attachment=15109] 'Cc(}YY0C
| .8lS3C
[attachment=15110] 1m$< %t.>
T*m;G(
[attachment=15111]
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