| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 bae\Zk%`^ 技术参数: ZT[3aXS 1. X,Y,Z移动距离分别为: K]qM~v<A X向: ±7.5mm UWZa|I~:J Y向: ±9 mm RrhT'':[ Z向: ±10 mm 28hHabd| 2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; ari7 iF~j X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 4EXB;[] 0.005 ;>%~9j1C 3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 =\,uy8HX 4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° 'S<%Xm [attachment=15109] 7_wJpTz Tzt ,/e [attachment=15110] 'lo T/c<23i [attachment=15111]
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