| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 B6Wq/fl/
技术参数： 5kRwSOG%'
1. X,Y,Z移动距离分别为: -Ib + #pX
X向: ±7.5mm S4aHce5PXA
Y向: ±9 mm =2vMw]
Z向: ±10 mm 3<~2"@J
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; ,_5YaX:<4
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 TCEXa?,L
0.005 /w }B07.
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 tNi% }~Z
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° d
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[attachment=15109] #*7 /05)
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[attachment=15110] f3% ^-Uy*b
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[attachment=15111]
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