| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 afxj[;p!
技术参数： _'? 8s6 H
1. X,Y,Z移动距离分别为: ' U|MM;(
X向: ±7.5mm "}]GQt< F
Y向: ±9 mm /{eih]`x(
Z向: ±10 mm FT|/ WZR
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; "6`)vgI~
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 tF#b&za
0.005 vOvxQS}dBp
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 gTmUK{y'
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° +(QMy&DtS
[attachment=15109] 1cH SgpoJ
,p[\fT($]
[attachment=15110] J { GFb
9sfB+]}h
[attachment=15111]
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