| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 5nG\J
g7
技术参数： xIM,0xM 2
1. X,Y,Z移动距离分别为: k< 9,Y pa
X向: ±7.5mm ^{Y, `F
Y向: ±9 mm C;BO6$*_e
Z向: ±10 mm t~+M>Fjm?d
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; 9 [eiN
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 D;,p?]mgO~
0.005 >F$9&s&
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 {*_Ln
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° U2VEFm6
[attachment=15109] H= /1d.p
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[attachment=15110] )UR$VL
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[attachment=15111]
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