| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 ("YWJJ'H
技术参数： I
Bko"|e@
1. X,Y,Z移动距离分别为: A
H=%6oT2
X向: ±7.5mm Vvp{y
Y向: ±9 mm z "z
Z向: ±10 mm C ^c <s
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; \6bvk _
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 6@"E*-z$
0.005 AAqfp/DC
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 =nO:R, U
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° [e_<UF@A*
[attachment=15109] &M tF
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[attachment=15110] r;{ggwY&J
DliDBArxZ
[attachment=15111]
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