| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
对五维光学调整架感兴趣的请与我联系(QQ 345139306)
五维光学调整架 )."_i64
技术参数： [5e}A&
1. X,Y,Z移动距离分别为: m. pB]yq&
X向: ±7.5mm K PSFy<
Y向: ±9 mm Hdw;=]-
Z向: ±10 mm f 5"1WtB
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; ^90';A CFy
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 9+ nB;vA
0.005 C$(U S8:{
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 x^Q:U 1
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° ExeD3Zj
[attachment=15109] zflfV!vAg
,dh J\cQ~
[attachment=15110] dKTyh:_{
rn $a)^!
[attachment=15111]
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