| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 =fyyqb4 技术参数: ,R wfp=*E 1. X,Y,Z移动距离分别为: ~y0R'oi X向: ±7.5mm gY9\o#)< Y向: ±9 mm W$?e<@ Z向: ±10 mm 5@u~3jPd 2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; KhM.Tc X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 .gYt0raSY 0.005 `EMi0hm&H 3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 q'(z #h,cv 4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° "2Op[~V [attachment=15109] %c6E-4b </E>tMW [attachment=15110] PCfo G{c#\?12C [attachment=15111]
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