| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 .=% ,DT"
技术参数： *s}j :fJ
1. X,Y,Z移动距离分别为: FK!UUy;
X向: ±7.5mm i#1 ~<U
Y向: ±9 mm 2Hj;o
Z向: ±10 mm ?[~)D}] j
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; h6Q-+ _5
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 ,Y_ [+
0.005 =^D{ZZw{
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 .0H!B#9
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° `ek On@T0
[attachment=15109] ;x~[om21;
$KGp cl
[attachment=15110] A Q e~F
GK.U_` 4?
[attachment=15111]
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