| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 $.]l!cmi%Q
技术参数： ]l8^KX'
1. X,Y,Z移动距离分别为: T0]MuIJ).
X向: ±7.5mm (XoH,K?{z
Y向: ±9 mm >M&3Y
XC
Z向: ±10 mm ?6'rBH /w
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; k5] j.V2f
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 sH\5/'?
0.005 \6\<~UX^
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 Ewg:HX7<(
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° zXRlo]
[attachment=15109] GgKEP,O
5ZBK Ru
[attachment=15110] oY, %Iq
Q|@4bz i)
[attachment=15111]
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