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2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 iETUBZ 技术参数: &VA^LS@b 1. X,Y,Z移动距离分别为: P+CdqOL X向: ±7.5mm c*. Y向: ±9 mm 6i~|<vcSP Z向: ±10 mm od5nRb 2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; jex\5 X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 {9-9!jN{" 0.005 mXyN{`q= 3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 3)ox8,{%} 4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° r~YBj>} [attachment=15109] 9jY+0h*uP J]XLWAM [attachment=15110] 8<mloM-4 }e/vKWfT [attachment=15111]
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