| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 D|e
uX7b
技术参数： ;1%-8f:lW
1. X,Y,Z移动距离分别为: Dp) =0<$y
X向: ±7.5mm tasUZ#\6
Y向: ±9 mm l)Crc-:}4j
Z向: ±10 mm @\f^0^G
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; ] lrWgm
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 9%B\/&f
0.005 [n \2
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 xl A$:M&
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° xx#zN0I>-y
[attachment=15109] PE5R7)~A
L )@?e?9
[attachment=15110] 7cc O93Mz
X!9 B2w
[attachment=15111]
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