| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 T8W^qrx.v
技术参数： }>3jHWxLc
1. X,Y,Z移动距离分别为: r/0AM}[!*j
X向: ±7.5mm e ]2GAJLI
Y向: ±9 mm 1 . o0"
Z向: ±10 mm rTJ;s
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; J%!vhQ
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 4s"x}c">F
0.005 \Il?$Kb/
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 1$:O9 {F
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° R4zOiBi'B
[attachment=15109] OF; "%IW~}
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[attachment=15110] 9 OlJC[
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[attachment=15111]
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