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cl610 2008-11-04 11:40

请教关于脱膜

我们有个产品，AR400--900nm的，平均反射小于1%，我用Ta2O5+MgF2做的，基底材料LaK4，曲线还可以，就是脱膜，不知道是什么原因，请各位大侠赐教。还有没有人用过这两种材料的组合吗？效果怎么样？
zzh1011 2008-11-04 21:20
注意真空室是否有油分子，膜料预溶是否充分，最好加---IAD
zyg1693 2008-11-07 17:08
你用AL2O3打底层再试试
cl610 2008-11-08 20:29
谢谢各位回复，真空室倒是没有回油，我现在怀疑是不是Ta2O5和MgF2的结合不好？
hhxxttxs 2008-11-11 23:18
基体温度也会有影响吧，衬底洗净了吗？有好多好象直接卷起来，还有膜直接断裂，这些可能跟薄膜的内应力有关，还有热膨胀问题。看看晶格参数差多少
leisf 2008-11-12 14:52
如果不介意的话我也说两句吧:我觉得你也说对了,中间再加些AL2O3吧!
cl610 2008-11-13 22:48
我们设备配的是北京空间中心的离子源，目前尚未投入使用，膜料预熔三分钟左右，充氧后真空度维持在3.4E-2Pa左右，烘烤温度300度，（实测270度），膜层经混合液棉花使力擦后先起路子，然后就会大面积脱膜。还有al2o3是做底层还是中间层啊？
laonan 2008-11-17 16:44
加过渡层是比较理想的方法，可以试试
gszljw 2008-11-22 23:03
脱膜是在什么环境下造成！用什么方法使他脱膜了，请说清楚后，可能会快速帮你解决
lyz781128 2008-11-24 10:23
你镀MGF2有用离子源吗？
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