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lsnanjing 2008-08-12 21:38

离子源问题的讨论,欢迎达人进入

众所周知 ,在薄膜沉积的同时 ,辅助以具有一定能量的定向离子束的轰击 ,可以大大地改善薄膜的性能。 rCdf*;  
它不仅可以显著增强膜基与膜层间的结合。而且可以起到增加存储密度 ,消除柱状晶 ,提高膜的致密度的作用。 C1KO]e>  
我在这里想要和大家讨论的是:离子源可以改变膜层的折射率,那么可以不同的能量可以改变它的厚度吗????
syw1984 2008-08-23 11:01
这好像不行啊,要厚就是整体的都厚了
ken_jinyan1 2013-06-07 15:45
薄膜的折射率变了,再用TFC设计不就不准了吗
yangyangyang 2014-06-25 17:02
不可以改变厚度
gaofei5588 2017-11-24 12:14
离子源和晶控或光控是单独体,改变离子源beam,会改变折射率,厚度肯定会发生变化。 9K`uGu  
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