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wsxiswu 2008-08-07 09:11

又出新难题了，请维修达人

现在我们使用的一台镀膜机上的MDC-360晶控仪只能打手动镀膜打不了自动 0T>H)c6:\  
打自动主要现象为：干锅旋转不停 #A8@CA^d  
个人认为可能是人为参数设定不正确，但对这个东东了解不深，不好随意修改参数。 wYlf^~#"  
望达人指点，谢谢 7L^%x3-|&  
            
229853669 2008-08-11 05:43
刚锅下面的线松了吧
wsxiswu 2008-08-11 09:45
坩埚下的接线均正常，手动镀膜时坩埚动作正常，只是在自动模式下才出现上述故障！
yzhuang 2008-08-13 11:33
我没用过,给一个建议,查一下:Source Parameters ( 蒸发源参数)中的Feedback Type,其中参数为Individual, BCD, single home, in position, or on feedback(独立，二进制数码，到位，或无回馈),试着改变一下设置,还有就是Position Control(位置控制)中的Manual direct, BCD, or individual(手动，直接，二进制数码，或单独),看看有什么不对
wsxiswu 2008-08-15 11:25
好的！
yufe16 2008-08-24 17:54
碰到过这种情况，总电源关一下再打开就可以了。
gszljw 2008-09-07 19:45
没用过！ _Ob@`  
提供建议： d`1I".y  
此为定不到位，请找一下定不到位的原因
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