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b57322710 2008-07-30 10:10

求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数

求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数 Cq2Wpu-u  
磁控溅射的 +X/a+y-  
现在网上找的一些资料说溅射温度90 溅射功率200W AR与O2的分压比为40：10 "ioO_  
H.ZIRt !RB  
但机器上我们不是要设置O2流量与  AR流量 这些我不知道怎么设置 UTkPA2x  
刚进这行没几个月  希望高手给我介绍下
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