首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

b57322710 2008-07-30 10:10

求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数

求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数 -eA3o2'  
磁控溅射的 sA}Xha  
现在网上找的一些资料说溅射温度90 溅射功率200W AR与O2的分压比为40：10 0nDlqy6b1b  
WL6p+sN'  
但机器上我们不是要设置O2流量与  AR流量 这些我不知道怎么设置 L 2Z9g`>  
刚进这行没几个月  希望高手给我介绍下
查看本帖完整版本: [-- 求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计