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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 我的镀膜机抽不动了，请达人！ [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

wsxiswu 2008-07-05 10:11

我的镀膜机抽不动了，请达人！

我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： nMDxH $O  
低真空时间: ^ PI5L  
0000——3.0 E0        8分钟 U~{du;\  
但此时不能开启高阀 L!/\8-&$P  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 @uo ~nFj,  
0000——8.0E-1        65分钟 DU%w1+u  
高真空时间: Ze< K=Q%(i  
8.0E-1——4.8E-3      65分钟    kP#e((f,  
4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟（熔料） Z nFi<@UB)  
4.5E-3——2.5E-3      60分钟    A[G0 .>Wk  
抽真空环境： _AV1WS;^^8  
  温度：26℃-28℃ gh`m*@  
  湿度：45% s}5cSU!|  
  烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） ,1'4o3  
可是现在不知道为什么抽不动了。 PFUO8>!pA\  
主要表现在 AV 8n(  
0000——3.0 E0        8分钟 VxP&j0M>  
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 _X ~87  
使用丙酮检漏没有发现漏点。 - (#I3h;I  
扩散泵油很好，很清亮。 xI ,2LGO  
Z\[N!Zt|  
&DqE{bBd!  
f}guv~K  
wsxiswu 2008-07-05 10:13
及盼能解决的办法！
windsnow 2008-07-06 08:54
那你的机械泵是不是有问题，检查下机械泵的能力。
zzh1011 2008-07-06 21:02
不像是机械泵的问题，因为低抽看起还正常。油加热温度不够，检查低阀关完了没有，有可能是阀门内漏气！
wsxiswu 2008-07-07 08:45
油温一直维持在247℃ -246℃ 之间，两个泵都是。高阀我也检查了，没有漏气的现象。目前好郁闷，不知道从那个方面下手了！！！！（TO:zzh1011 低阀显示关闭到位,要不我开不了高阀啊！)
wsxiswu 2008-07-07 08:51
冷却水温也较正常。入水20℃-23℃出水29℃-32℃
lsnanjing 2008-07-09 20:59
我不知道说的对不对，你的机器用了多和时间了？机械泵换过油没有？ zByT$P-  
  南光的机械泵有一个最大的毛病，就是在里面有一个蓄水槽，时间长了里面全都是水，影响抽速。 S9HwIH\m  
你检查一下，
wsxiswu 2008-07-10 15:05
机械泵已洗，蓄水槽是有很多水！！！油也换了！！可是………………可是………………还是没有多大的改观
wsxiswu 2008-07-10 15:08
低真空时间: QMv@:Eo  
0000——3.0 E0        8分钟  12Y  
但此时不能开启高阀 P%K4[c W~  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽  w+1Gs ;  
这个现象我觉得很不正常，不知道怎么处理！！ 2Sm }On  
这两天我单独测量了一下扩散泵的真空度，感觉还可以一个3.6E-4,一个1.2E-4（维持泵3小时）
flyinlove79 2008-07-13 18:12
看看你的扩散泵油有没有氧化
wsxiswu 2008-07-14 14:27
油很好！！从视镜里看很清亮！
wsxiswu 2008-07-14 14:43
感觉还可以 ！！从油视镜里看还很清亮！！
syw1984 2008-07-14 23:34
你的高真空规管有没换过，或者是真空计有问题
yzhuang 2008-07-16 21:39
我觉得如果你是机械泵加罗咨泵做前级的话，很可能是罗咨泵出了问题，因为你只是3.0 E0——8.0 E-1        这一段时间太长
wsxiswu 2008-07-17 15:02
1、真空管换新，不做考虑。 dz Zb  
2、“很可能是罗咨泵出了问题，因为你只是3.0 E0——8.0 E-1        这一段时间太长” o M Zq+>  
     我现在最想解决的问题是为什么我不能在3.0E0开高阀。 vloF::1  
     和厂家联系他们说漏气，但我总觉得好像是扩散泵抽气能力问题。比如铭牌是 )8g(:`w  
        10000L/S  ，现 在可能只有5000L/S，我现在想测测扩散泵抽速不知道各位达人 U*.0XNKp{  
      有没有好的办法
syw1984 2008-07-29 22:56
开高伐前不要开加热，高伐汽缸是否漏气
dede 2008-07-30 00:20
我比较赞同yzhuang的观点,罗茨泵的问题!很可能是罗茨泵的轴套与轴之间的密封圈已失效!
wo07102329 2008-07-31 13:32
问题解决了么？ V)}rEX   
罗茨泵的问题，应该是的
wsxiswu 2008-08-06 10:34
罗茨泵已经检修，抽气时间得到提升。目前从到3.0E-3在1小时45分钟左右。 \TU3rk&X  
但高阀开启点还是在9.0E-1左右
zzh1011 2008-08-06 21:08
用的什么真空仪，调零后试一试！
wsxiswu 2008-08-07 08:59
我使用的是成真ZDF-III-LED真空计已经确认正常 6Aocm R0D'  
我的意思不是3.0E-0开不了高阀，而是在这个真空度开高阀真空室的真空就抽不动。 Y))NK'B5  
只有在9.0E-1左右开高阀才能继续抽真空。
章钱国 2008-08-09 17:18
检查一下前级阀，看是不是前级阀内漏气，还有就是DP与前级阀前有一个环，看有没有坏啊，我也遇到过，但是就是这个问题
wsxiswu 2008-08-11 09:41
DP??DP与前级阀前有一个环??可以明确一点吗?谢谢了
xiawj0951 2008-08-15 15:31
我听说过一个做真空系统的人讲过： k1Q ?'<`  
真空能不能抽到高真空，如果不能，表示漏气，如果能抽到高真空，而时间太长，则表示不漏，而是真空泵系统问题。 o=`C<}  
具体检测方法，可以分别对各种泵的极限真空进行测试就大概知道。通常机械泵的抽速是从大气到1000PA，前级泵是从1000PA到1PA扩散泵是从1PA到10-2PA,就可开始烘烤镀膜后续工序。 4>J   
你要摸摸扩散泵的温度是不是过高。虽然说冷却水温指示正常，如果冷却水管与扩散泵脱开的话，扩散泵一样冷却不好的。 K(aJi,e>  
如果不是扩散泵的问题，从你说的现象来看。感觉机械泵与前级泵出现问题的可能性比较大。机械泵要抽一个小时才到你说的那个数值，也太慢了些吧。
xiawj0951 2008-08-15 15:33
我以前做AR膜时，是用光驰设备。从抽到镀再到下次抽，间隔时间总共也才一个小时哦。 3do)Vg4  
南光机真的太慢了。
bailander 2008-08-22 22:15
感觉是你的扩散泵的水冷系统出问题了
truckcar 2008-08-25 15:24
回复24楼 <I;2{*QI2  
P9 Z}H(?C  
0V?F'<qy  
现在的机器不加烘烤 vx4+QQY P  
20分钟就到3*10-2了 }u1O#L}F5  
)vxUT{;sH  
我们的设备每年开4000锅 D+>1]ij  
mx=BD'  
设备要注意保养 jVq(?Gc  
x#:| }pR  
而且气候、镀制材料也有差异
syw1984 2008-09-04 22:22
可能是烘烤接线柱了漏气
gszljw 2008-09-07 19:18
请将你的RP的型号及厂牌告诉我，另外真空度单们是？ B/n[m@O  
或许我能帮你一下
lilisrlhj 2008-09-09 10:52
你的机台是不是扩散泵油加多那，检查一下有的用量；或是你的加热丝有问题，功率不够或是达不到！
wsxiswu 2008-09-28 16:15
问题现在找出来了。故障主要原因是一台扩散泵体一处有很细裂纹，跟换扩散泵后正常
ww04010911 2008-11-29 00:18
到3帕还不能开高阀，我看问题就是出在这里。据楼上所说的，应该和泵没多大的关系。
yls 2008-12-30 11:51
真空管，机械泵在查查啊 ！！！！！！！！！！！
9603128 2009-03-04 22:15
真空管，机械泵在查查啊 ！！！！！！！！！！！
jakky 2009-03-10 17:05
真空计和表头会不会有问题,有般都喜欢在上面抹点真空脂,多了表头会有问题的
timberwolf 2009-03-25 10:51
估计机器中有较多水汽，影响抽速，建议对机器进行烘烤，并把里面的元件都重新打磨擦拭一下
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