wsxiswu |
2008-07-05 10:11 |
我的镀膜机抽不动了,请达人!
我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: K3'`!K a* 低真空时间: 0(-'L\<>x 0000——3.0 E0 8分钟 H9nZ%n 但此时不能开启高阀 r~TiJ?8I 低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 l0[jepmpiT 0000——8.0E-1 65分钟 3vmLftZE} 高真空时间: c?b?x
6 2 8.0E-1——4.8E-3 65分钟 0XL
x@FYn 4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) (!{_O_& 4.5E-3——2.5E-3 60分钟 ]?mWnEi!z 抽真空环境: z`5+BL,|ND 温度:26℃-28℃ OFCkQEG=y> 湿度:45% R7Hn8;.. 烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) #.a4}ya19 可是现在不知道为什么抽不动了。 6$@Pk<w 主要表现在 '_@=9 \< 0000——3.0 E0 8分钟 uZ%b6+( 真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 "t`r_Aw 使用丙酮检漏没有发现漏点。 $fuFx8`2W 扩散泵油很好,很清亮。 t3v*P6 p !U#53 BP*gnXj RiaO`|1
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