andy0627 |
2008-06-26 14:54 |
金属薄膜之制作
实验2 金属薄膜之制作 6j(/uF4!# 一、实验目的 m8fj\,X 学习利用热蒸镀及电浆溅镀法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)制作金属薄膜。 ZIx-mC5 1.了解真空技术的基本知识; h-P|O6@Ki 2.掌握低、高真空的获得和测量的基本原理及方法; 5.6tVr 3.了解真空镀膜的基本知识; >B{NxL3-> 4.学习掌握蒸镀镀膜的基本原理和方法. pt<zyH3Z jA{5)-g 二、实验原理 : .x((
FU 镀膜技术有很多种,但大体上可分为利用液体及气体成膜两种方法,前者大多涉及化学变化,后者皆有些是利用化学作用,有些则是属于物理作用。如图(1)所述: Wzl/ @CPM 图(1) 真空镀膜方法 63W;N7@ 本教材的重点在于物理气相沈积的热蒸发蒸镀法及电浆溅镀法,原理及制程将会详述内文。同学们若对其他镀膜方法有兴趣请自行查阅书籍、网络等数据。 kG>jb!e@( n-ffX*zA( (GmBv 压力低于一个标准大气压的稀薄气体空间称为真空.在真空状态下,由于气体稀薄,分子之间或分子与其它质点之间的碰撞次数减少,分子在一定时间内碰撞于固体表面上的次数亦相对减少,这导致其有一系列新的物化特性,诸如热传导与对流小,氧化作用少,气体污染小,汽化点低,高真空的绝缘性能好等等.真空技术是基本实验技术之一,真空技术在近代尖端科学技术,如表面科学、薄膜技术、空间科学、高能粒子加速器、微电子学、材料科学等工作中都占有关键的地位,在工业生产中也有日益广泛的应用.薄膜技术在现代科学技术和工业生产中有着广泛的应用.例如,光学系统中使用的各种反射膜、增透膜、滤光片、分束镜、偏振镜等;电子器件中用的薄膜电阻,特别是平面型晶体管和超大规模集成电路也有赖于薄膜技术来制造;硬质保护膜可使各种经常受磨损的器件表面硬化,大大增强表面耐磨程度;在塑料、陶瓷、石膏和玻璃等非金属材料表面镀以金属膜具有良好的美化装饰效果,有些合金膜还起着保护层的作用;磁性薄膜具有记忆功能,在电子计算机中用作存储记录介质而占有重要地位. OMLU ;,4 薄膜制备的方法主要有真空蒸镀、溅射、分子束蒸镀、化学镀膜等.真空镀膜,是指在真空条件中采用蒸镀和溅射等技术使镀膜材料气化,并在一定条件下使气化的原子或分子牢固地凝结在被镀的基片上形成薄膜.真空镀膜是目前用来制备薄膜最常用的方法,真空镀膜技术目前正在向各个重要的科学领域中延伸,引起了人们广泛的注意. 8TP$ ?8l Yj& | |