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d9272816	2008-06-05 15:25
为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面？ 1.为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面 X 4;+` 2.可能跟第一个问题有关，为何靶材都是圆形的

liwenjuan	2008-06-11 11:10
放在下边可以很方便安装呀，并且磁场也很有效利用。 )7*Apy==x 感觉大型溅射设备都是矩形的，呵呵

chongqigeg	2008-06-20 10:50
靶材有矩形的阿

知识乞丐	2016-09-25 11:19
平面靶圆柱靶 b"/P

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