为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面？-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面？ [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

d9272816	2008-06-05 15:25
为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面？ 1.为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面 Ua5m2&U1 2.可能跟第一个问题有关，为何靶材都是圆形的

liwenjuan	2008-06-11 11:10
放在下边可以很方便安装呀，并且磁场也很有效利用。 'uo`-Y 感觉大型溅射设备都是矩形的，呵呵

chongqigeg	2008-06-20 10:50
靶材有矩形的阿

知识乞丐	2016-09-25 11:19
平面靶圆柱靶 C: kl/9M@

查看本帖完整版本: [-- 为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面？ --] [-- top --]