请教镀膜的问题？

各位大大好，小弟是新手，最近在试镀SiO,发现电子枪的电流不稳定，设定电流大小和镀膜时的电流差大约300mA，过程中，SiO一直有火花飞溅的现象，请问电流为什么没办法稳定在一个范围呢?是不是火花飞溅干扰到电子枪，但降低电流后也有同样的现象?SiO没办法用电子枪直接加热吗?使用机台是天驰1300，请各位大大帮忙给些意见，谢谢!

asdf1234	2008-01-02 16:35
是不是材料不平整？另外材料纯度也会有影响 nZ2mEt 你换个材料供应商试试

dufflor	2008-01-04 16:21
填满镀膜材料后，有压平，但还是一样会电流上升的现象。在镀膜期间，坩埚中心的材料会一直陷下去，镀越久就越深，请问有没有可能是材料陷下去的问题？ <;$Sa's,LE 还有，游览文章发现，SiO不能用电子枪直接打,必须用电子枪间接加热，是真的吗？

凡鸟	2008-01-13 17:07
可能是没有把料熔透,放气的话电流就不稳,有时回出现打火

wangxingyu	2008-03-10 10:05
SIO一般是用在阻抗式蒸发装置上吧

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