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小英子	2007-12-10 11:26
椭偏仪和台阶仪测薄膜厚度的问题请教一下：我用椭偏仪和台阶仪分别测了一下薄膜的厚度，结果至少差了有200nm，请问一下哪一个测量的更准确呢！谢谢大家！

ccc502	2007-12-10 19:55
后者更精确

oneday1979	2009-01-02 19:00
我也想知道

whuai	2009-02-28 11:08
请分享

timberwolf	2009-03-25 10:54
如果操作无误，我相信台阶仪

wuya02109	2009-08-07 19:54
如果是测厚度这一项的话，还是台阶仪更准些。

hp1965	2009-10-03 09:00
薄膜的总厚度是多少？哪一个测量的更准确与你关心的是光学厚度或几何厚度有关！

myjoy88	2010-02-02 15:03
当然是椭偏仪更准，因为测试的结果可以和理论值比较 U2(mWQ[mO

uantel	2011-04-06 15:33
准确的讲，是后者准确，台阶仪是接触式测量

yurongjun228	2011-04-06 23:31
能提供下载资料吗

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