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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 请教：离子辅助蒸发带来的问题。 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

imute 2005-12-08 20:36

请教：离子辅助蒸发带来的问题。

最近镀YAG晶体，采用的是离子辅助蒸发的方法，牢固度，光学特性都很好，但是发现表面又很多点。不用离子源就会好狠多，不是何原因？我用的时考夫曼源，能量在200V以下，应该不算高。请各位大虾指教。
birdy 2005-12-09 17:16
有可能是真空室不够干净，有浮尘。
imute 2005-12-09 17:48
请教一楼，离子源能把浮尘打下来吗？我问过空间中心的人，他们说不可能。我也搞不清咋回事了。
livego 2005-12-09 18:20
这个应该就是工艺问题了，以前记得在哪里也见到过这个问题，后来不知道他们怎么解决的，洁净度、真空度、返油、烘烤温度等都有可能。
birdy 2005-12-10 11:20
不好意思，我自己也没有用过离子源，只是听人家说过有这种情况
birdy 2005-12-10 11:20
哈哈，你可以咨询一下3楼的啦
洪亮 2005-12-12 13:55
真空室洁净度不高造成
imute 2005-12-13 22:32
请教六楼，你们如何清洗真空室呢？我们一般用砂纸打磨后，再用布和酒精擦拭，看来这样是不是不行呀？！
flyinlove79 2005-12-21 17:59
我们直接把护皮取下来，在水里用砂纸打磨，别的地方就直接用砂纸打磨，再用布和酒精擦拭啦
imute 2005-12-22 14:53
我们基本上也是这么做的，不过有些地方实在是不好清洗，我们用的是南光的镀膜机。请问8楼的版主在那里高就，是南方还是北方？
shuangzixing 2005-12-22 18:08
我们清洗真空室都把护板.工转盘.修正板基本上把里面的东西都拿下了用细砂打过.再用乙醚擦拭
flyinlove79 2005-12-22 18:10
哈哈，我在西安呢，有时间过来玩啊
imute 2005-12-26 12:58
西安也是藏龙窝虎之地呀！有机会一定去拜访，倒是版主可别说不认识我呀
zhwp-80 2006-01-05 23:18
直接把护皮取下来，在水里用砂纸打磨，别的地方就直接用砂纸打磨，再用布和酒精擦拭
wangchao04 2006-09-12 18:28
是离子源脏   清洗离子源   不用离子源没问题 应该不是真空室脏
chaliek 2006-09-14 11:39
不清楚你的偏压用的是多少？适当的增加偏压可能会有所改善，不妨试一下!
msy 2006-10-02 22:48
其实像离子辅助蒸发基板有很多点,我们俗称微尘,除了和洁净度、真空度、返油、烘烤温度以外,我想还有可能与你机器设置有关系了,你镀膜机是什么牌子的,在镀膜时候需要冲氧气\还是氩气,还有你的膜料,保存是否完好?最好膜料放在干燥柜里面!
ddm 2006-10-05 13:34
作镀膜需要的是细心 , 清机很多小地方都不能遗漏 .
vacuumtech 2006-10-15 21:19
不懂但下来，学习学习
雪纷飞 2006-10-31 13:54
这个应该就是工艺问题了，以前记得在哪里也见到过这个问题，后来不知道他们怎么解决的，洁净度、真空度、返油、烘烤温度等都有可能。
qx__wei 2009-08-07 15:34
喷砂机啊！
wangxingyu 2010-01-11 16:00
我以前做过，经常出现楼主那样的情况！有空请联系我 Df\~ ZWs!  
QQ：752679967
聂凯 2010-05-04 23:55
它不就是清洁表面 加固膜强度的吗
sauke 2010-05-21 10:43
离子源辅助蒸发,如果离子源功率太大,也可能会破坏基底的
wflney 2019-12-30 22:50
车间换件和真空室洁净度不高造成
小小叔 2020-02-25 15:21
就像23楼说的，可能是离子源功率太大了把片子打伤了
sosjinyan 2020-03-28 07:46
伤和脏点   是能分出里的，如果是离子源造成的点伤，应该是树脂镜片，玻璃的打不伤。 ;"}yVV/4  
脏点的话，感觉是离子源脏。   不知道充的气体是否有影响。
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