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jlxygun	2007-10-17 00:29
要怎么做才能用台阶仪测出透明薄膜厚度？我磁控溅射在k-9玻璃上做的SiN薄膜是透明的，而台阶仪要求两个面之间有一定的对比度（在显示器上可以分辨出台阶），希望大家给出出主意，怎么处理才能用台阶仪测出SiN厚度呢？谢谢！

huyanah	2007-11-07 17:10
坦白的说，台阶很难 s,GGO3^ 椭偏可以

memser

2007-11-07 21:35

台阶仪不是接触式测量吗？探针接触扫描曲线，为什么还要有对比度呢，难道我们用的台阶怡不一样，实在不明白，我只知道膜厚太小，《1000A测的不准。不过这个测的不准，用椭偏仪或者VYKO三维轮廓仪测吧。不过用椭偏仪你得知道K-9玻璃的law文件才能测，用VYKO你得光刻做个台阶后才行，都比较准吧。再不就用膜厚仪吧，不怎么准，因为折射率是设定了的，而且可能还不行，因为没有你这基底啊。

ccc502	2007-11-10 18:12
这个问题比较难解决

yxbxgjs	2009-11-22 21:43
在样品上作一个台阶就可以测量了

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