离子辅助镀膜技术在优质高产的镀膜系统中的应用

摘要：大规模生产高质量薄膜产品是今后镀膜设备需要解决的问题。等离子体或离子辅助镀膜现在被广泛应用于高质量膜系生产中并取得了良好的效果，但是主要由于等离子体或离子源的原因，产能不高。本文介绍了一种新型精密光学镀膜系统和一种新型溅射镀膜系统。新的系统能够优质高效地生产复杂膜系，特别适合大规模生产。

关键词：等离子辅助沉积，溅射镀膜，光学镀膜

cswmsc	2007-08-16 22:05
谢谢，咋没人顶啊？

lilylyl	2007-08-18 13:59
qasy 的这个文章很好。谢谢！ 6y+b5-{' 刚看了一下文章内容，等离子辅助镀膜技术似乎很好，但是在制备高品质低损耗镜片方面，我比较认可VEECO公司的射频源离子溅射技术，后者在精确控制方面、设备稳定，漂移小。在磨蹭微观结构方面致密性更好。 '3tw<k!1{. 不知其他同仁有没有看法？

0243001243	2007-08-23 23:43
看看再说咯

wym87	2011-09-03 22:18
多谢楼主！下载了！！！

wym87	2011-11-14 21:10
不错的资料，祝楼主快乐！Thanks!

dede	2012-03-23 12:32
这个文章很好

jefflee1507	2012-08-17 12:12
THANKS

罗先生	2019-12-11 11:55
看看楼主的分享 I8m:3fL"

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