薄膜设计与镀膜工艺线下课程
薄膜设计与镀膜工艺 .Y&)4+ckL
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时间地点 r"P|dlV-
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电INFOTEK） Wk)OkIFR
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） R}O_[
课程时间： 2026/12/4（四）-12/6（日） *MKO
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课程地点：上海讯技 "*In+ !K
课程讲师：讯技光电工程团队成员 XD.)Dl8
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课程简介： "N`[r iq{
随着现代科技的飞速发展，光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高，其种类非常广泛，如增透膜，高反膜，分光膜，滤光片等，光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 MF5 [lK9e
本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用，第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法，前两天主讲人为讯技光电高级工程师，第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵，分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。 ML|FQ
易葵：中国科学院上海光机所正高级工程师，主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作，尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项，入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。 %J+ E/
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课程大纲： o]4*|ARPs
1.Essential Macleod软件介绍 37s0e;aF
1.1 介绍软件 sB7#
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1.2 创建一个简单的设计 .+$ Q <L
1.3 绘图和制表来表示性能 A1O' |7X
1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据
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1.5 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） ]s<[D$ <,
1.6 特定设计的公式技术 AE[b},-[
1.7 交互式绘图 e"|efE
2.光学薄膜理论基础 JMC. w!
2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 "&Y`+ 0S8
2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 ;r<^a6B
3. 材料管理 Ayxkv)%:@)
3.1 材料模型 *\
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3.2 介质薄膜光学常数的提取 !2%HhiB'
3.3 金属薄膜光学常数的提取 8A##\j )
3.4 基板光学常数的提取 u_oaebOrpP
4. 光学薄膜设计优化方法 p{r}?a
4.1 参考波长与g v[1aW v:
4.2 四分之一规则 H\ F :95
4.3 导纳与导纳图 Cd#(X@n
4.4 斜入射光学导纳 O%X f!4 Z
4.5 光学薄膜设计的进展 +^6 0T$
4.6 Macleod软件的设计与优化功能 ag [ZW
4.6.1 优化目标设置 Fs9!S a7v
4.6.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法） q'T4w!V(V
4.6.3 膜层锁定和链接 ldU?{o:\s
5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用 p`olCp'
5.1 减反射薄膜 $V -~Bu-
5.2 分光膜 wr$("A(
5.3 高反射膜 M\uiq38
5.4 干涉截止滤光片 J,'M4O\S
5.5 窄带滤光片 mE+*)gb:Rd
5.6 负滤光片 @0Ic3C[rH6
5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 &6/[B_.
5.8 仿生蛾眼/复眼结构 xQ7 l~O
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5.9 颜色膜 n(1l}TJy
5.10 Vstack薄膜设计示例 0q()|y ?}
5.11 Stack应用范例说明 3c-GY:VkLM
6. 薄膜性能分析 _>&X\`D
6.1 电场分布 =W(Q34
6.2 公差与灵敏度分析 - YEZ]:"
6.3 反演工程 ,0 M_ Bk"
6.4 均匀性，掺杂/孔隙材料仿真 6AAz
7. 真空技术 |3( '
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7.1 常用真空泵介绍 Vh|*p&
7.2 真空密封和检漏 t% d Z-Ym
8. 薄膜制备技术 LBw1g<&
8.1 常见薄膜制备技术 (nQ^
9. 薄膜制备工艺 KI"#f$2&
9.1 薄膜制备工艺因素 $0 W|26;
9.2 薄膜均匀性修正技术 l{* @v=b(
9.3 光学薄膜监控技术 g| o,uD
10. 激光薄膜 =9H 7N]*h
10.1 薄膜的损伤问题 uy>q 7C
10.2 激光薄膜的制备流程 is?{MJZ_
10.3 激光薄膜的制备技术 ?g_3 [Fk
11. 光学薄膜特性测量 D}-/ c"':}
11.1 薄膜光谱测量 .73X3`P25
11.2 薄膜光学常数测量 Y`~Ut:fZ
11.3 薄膜应力测量 0{5w 6
11.4 薄膜损伤测量 X]ipI$'+C
11.5 薄膜形貌、结构与组分分析 )W^F2-{
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有兴趣学习者请联系微信号18019382784
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