二元光栅设计流程

*' Sd/%8{   具有直壁或倾斜侧壁的二元光栅已成为许多光学应用中的关键部件。 感谢纳米压印技术，使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。 VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）和不同的优化算法，为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程，和随后的制造误差分析，如圆边效应。 5;tD"/nz   >N^Jj:~l   高效偏振无关透射光栅的分析与设计 1OG x>J6   %P;lv*v.   \pa"%c)   我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元结构以获得高偏振无关的衍射效率。 K[I=6   }MJy +Z8&   倾斜光栅的参数优化与公差分析 ^n*)7K[   ~qiJR`Jj   [<Mx2<8f   利用傅立叶模态法（FMM）优化倾斜光栅，以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差，如圆形边缘。

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