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infotek 2026-10-20 13:53

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 F`3As 9b:  
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 L0~O6*bk  
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设计任务 r}bKVne  
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1级参数优化 1j(,VW  
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结果-容差分析 sP!qv"u  
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结果-容差分析 l{g( z !  
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VirtualLab Fusion一瞥 ^(3k uF  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ?0X.Ith^.  
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构建光栅结构 Tc :`TE=2  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] w8Yff[o  
−倾斜光栅高级设定[用例] ' r/1+.  
•光栅衍射效率分析 D?R  z|  
−光栅阶序分析器[用例] Pe.D[]S  
•使用参数优化进行光栅参数优化 0Og =H79<  
•使用参数运行的容差分析
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VirtualLab Fusion技术 fz*6 B NJ  
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文件信息 .67W\p  
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