倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要

对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。

设计任务 Dp8`O4YC
Y30T>5

1级参数优化 iPuX
Q,`R-?v

结果-容差分析 VJf|r#2
f6*6*=

结果-容差分析 p-S&Wq
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VirtualLab Fusion一瞥 2BGS$$pP
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VirtualLab Fusion中的工作流程

构建光栅结构
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
−倾斜光栅高级设定[用例]
•光栅衍射效率分析
−光栅阶序分析器[用例]
•使用参数优化进行光栅参数优化
•使用参数运行的容差分析

VirtualLab Fusion技术 V:Lq>rs#
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文件信息

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