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2026-10-10 14:49 |
薄膜设计与镀膜工艺 12.4-6号上海线下专题课程
薄膜设计与镀膜工艺 e[R364K
时间地点 u4#BD!W 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) 0QEVL6gw 苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) /Pi{Mv eZM 课程时间: 2026/12/4(四)-12/6(日) `sJkOEc` 课程地点:上海讯技 XY0Gjo0 课程讲师:讯技光电工程团队成员 f5d"H6%L 课程费用:4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) d;;]+%
课程简介: 0Ba-VY.H 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 7c4\'dt# 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。 gt'0B-;W
易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。 qrm~=yU% ha3 Qx
课程大纲: oDM}h
+ 1.Essential Macleod软件介绍 6^UeEmjc 1.1 介绍软件 &W`yHQ"JY 1.2 创建一个简单的设计 ,$W7Q 1.3 绘图和制表来表示性能 'iUfr@ 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 Ou8@7S 1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) 3xV 1.6 特定设计的公式技术 9$UjZ$ v 1.7 交互式绘图 EvQN (_ 2.光学薄膜理论基础 7(Y!w8q&^ 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 ZqS'xN:k 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 @ZD1HA,h" 3. 材料管理 ^Zydy 3.1 材料模型 ~A [ Ju%R 3.2 介质薄膜光学常数的提取 q9icj 3.3 金属薄膜光学常数的提取 Zpl?zI 3.4 基板光学常数的提取 A&F@+X6@ 4. 光学薄膜设计优化方法 KuE
2a,E4 4.1 参考波长与g e!G
I< 4.2 四分之一规则 _%z)Y=Q 4.3 导纳与导纳图 j4+hWalm 4.4 斜入射光学导纳 rc9 \ 4.5 光学薄膜设计的进展 2/qfK+a 4.6 Macleod软件的设计与优化功能 &{/ `Q, 4.6.1 优化目标设置 Qighvei 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) 0@^YxU[YN 4.6.3 膜层锁定和链接 "%-HZw%X 5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用 &Q(Q/]U~ 5.1 减反射薄膜 9'td}S 5.2 分光膜 HrEZ]iQ@O0 5.3 高反射膜 )5Gzk&| 5.4 干涉截止滤光片 tlI3jrgw 5.5 窄带滤光片 ) dwPD 5.6 负滤光片 Y@_ i32,r 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 6hAeLlU1 5.8 仿生蛾眼/复眼结构 1MX:^L!f8 5.9 颜色膜 zSj.Y{J 5.10 Vstack薄膜设计示例 +%$!sp? 5.11 Stack应用范例说明 Qh%7RGh_ 6. 薄膜性能分析 W&TPrB 6.1 电场分布 i2)rDek3]T 6.2 公差与灵敏度分析 >umcpkp-h 6.3 反演工程 K?(ls$ 6.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真 ]^/:Xsk$ 7. 真空技术 ^HX={(ddK 7.1 常用真空泵介绍 -O^ b 7.2 真空密封和检漏 i1\xZ<|0 8. 薄膜制备技术 kHm1aE< 8.1 常见薄膜制备技术 n"(n*Hf7b 9. 薄膜制备工艺 gO gZ 9.1 薄膜制备工艺因素 z!D >l 9.2 薄膜均匀性修正技术 :sk7`7v 9.3 光学薄膜监控技术 1sGkbfh{t 10. 激光薄膜 4US8B=jk 10.1 薄膜的损伤问题 5i83(>p3]e 10.2 激光薄膜的制备流程 Q?I)1][ !" 10.3 激光薄膜的制备技术 M)Vz9, 11. 光学薄膜特性测量 r/Qq-1E 11.1 薄膜光谱测量 H.v`JNs( 11.2 薄膜光学常数测量 ()}O|JL:K 11.3 薄膜应力测量 3Ey#? 11.4 薄膜损伤测量 ?b^VEp.;} 11.5 薄膜形貌、结构与组分分析 >"5^]o2?~l "7l p|0I 有兴趣学习者请联系微信号18019382784
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