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infotek 2026-09-24 14:59

使用傅里叶模态法分析闪耀光栅

摘要 `}8)P#  
r\y\]AmF  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 !L_xcov!Y  
n"R$b:  
e"Z,!Q^-L  
傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) w2U]RI\?2  
' |M} 3sL  
建模任务 WJ 'lYl0+7  
O_5;?$[m  
PC%_^BDW  
#X6=`Xe#  
单次FMM仿真结果 qc.9GC  
vJW`aN1<I3  
QEmktc1 7  
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参数扫描(1D) Ysi@wK-LnF  
JBISA _Y  
M2.*]AL  
(8em5  
参数扫描(2D) +^$;oG  
   bf\ Uq<&IJ  
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文件信息 >q&e.-qL  
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